統合制御装置付きポジショニングステージ X-LDA-AE Series

リニア電動式単軸

ZaberのX-LDA-AEシリーズデバイスは、コントローラ内蔵の小型リニアモータステージで、小型パッケージで高速、高精度、信頼性を提供するコンピュータ制御の電動リニアステージです。 中央に取り付けられたリニアエンコーダは、最大 1 µm の位置精度と、20 nm までの一貫した動作ステップを実現します。 X-LDA-AEデバイスは、ノンコグアイアンレスリニアモータを特長とし、高速および加速機能を提供します。 ドライブとエンコーダは両方とも非接触であり、可動ケーブルがないため、非常に堅牢なシステムを実現します。 0.8m/sの速度と最大4gの加速度が可能で、25mm、75mm、150mmのトラベルオプション。