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... ガス種・フルスケール 流量変更が可能。予備品低減など、コスト削減に貢献します。 ワイドレンジ 微少 流量(5SCCM F.S)から大 流量(500SLM F.S.)まで制御可能 高精度 ±1.0% S.P.(セットポイント)保証 高速応答 フルレンジ1秒以内(T98) コンパクトサイズ 面間距離 106mm(50SLM以下、1/4VCR ...
HORIBA STEC
... 10 SCCMから1000SLMのワイドな 流量制御範囲、デジタル・アナログ、 DeviceNet™, CC-Link®、PROFIBUS™, EtherCAT®から選べる通信方式を持つ多様な産業やアプリケーション向けの汎用モデルデジタルマスフローコントローラです。±1.0% S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、マルチレンジ/マルチガス機能も兼ね備えています。 選べる通信方式 デジタル/アナログ、DeviceNet™, PROFIBUS®, CC-Link®, ...
HORIBA STEC
流量: 3 l/min - 150 l/min
圧力: 1 bar - 3 bar
... 高温環境（120℃）までの環境で使用できる高温対応デジタルマスフローコントローラです。加温環境での 流量制御を必要とする液化ガスや液体材料の 流量制御に最適。パージ時には、150℃のベーキングが行えます。また、100L/分（N2)の大 流量制御に対応したモデルもラインアップしています。 ±1.0 S.P.の高精度、1秒以内の高速応答を実現しています。 15℃から120℃までの高温環境対応 ...
HORIBA STEC
圧力: 1 bar - 3 bar
... 信頼性のあるサーマル方式の 流量センサーを搭載したマスフローモジュールです。マルチディスプレイ機能、PI機能を搭載し、シンプル・軽量なガスラインを構築します。±1% S.P.の高精度、1.0秒の高速応答。 PI機能搭載 急激な圧力変動においても、安定した 流量制御を可能とする最新のアルゴリズムを搭載し、各ガスラインの圧力制御機能を省くデザインが可能。ガスラインのシンプル化を実現します。 ...
HORIBA STEC
流量: 0 us gal/min - 100 us gal/min
圧力: 1 bar - 3 bar
... 冷却測定方式の 質量 流量センサーを搭載した液体用マスフローコントローラ&メータです。 冷却測定方式のセンサー搭載により、センサー部での加温を行わないため、低蒸気圧材料から純水など幅広い液体の 流量計測制御が行えます。 流量制御部には、デッドボリュームが無いメタルダイヤフラム構造のバルブを搭載し、µリッター/分レベルの微 量流量を正確に精度良く 流量制御が行えます。専用の気化器との組み合わせにより、純水や液体材料の気化（ガス化）システムが構築できます。 ...
HORIBA STEC
圧力: 3, 4 bar
... GR-511Fは、静電チャックシステムで固定されたウェーハの裏面を冷却するためのガスを制御することができます。 GR-511Fの安定性と精度は、ウェーハ冷却システムにおけるヘリウムとアルゴンの 流量制御に最適です。 特長 より安定した精度の圧力制御 マスフローセンサー（オプション） 各種フィッティングに対応 RoHS対応 使用例 GR-511Fは、静電チャック装置で固定されたウェーハの裏面を冷却するためのガスを制御しています。 バルブタイプ ...
HORIBA STEC
流量: 0 l/min - 2 l/min
... 信頼性の高いサーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載したオールマイティモデルの高精度アナログマスフローコントローラです。10 SCCMから200SLMまでのワイドな 流量制御範囲く幅広い産業でお使いいただけます 広範囲な 流量制御：0.2SCCM～200SLM(N2) 幅広い用途に対応 一般産業市場において多数の納入実績を誇っています。 ローコストモデルもラインナップ（SEC-E40MK3/E50MK3） ...
HORIBA STEC
流量: 1 l/min - 5 l/min
圧力: 3 bar
... 外部機器からの制御信号を用いて、ガス 流量または圧力制御するための高速応答バルブです。メタルダイヤフラム、メタルO-リング採用。接ガス部はオールメタル構造でウルトラクリーン対応です。ガスだけでなく、液体の流体制御も可能。 ウルトラクリーン対応：オールメタル構造を採用 微小 流量から大 流量までの流体制御が可能 高温対応モデルラインアップ：PV-1000S/2000Sタイプ ...
HORIBA STEC
![FCTechnik - Gas Control Systems - flox[on] MFC](https://img.directindustry.com/ja/images_di/logo-pp/L118821.gif){kind=logo}
流量: 1 l/min - 250 l/min
圧力: 16 bar
... テクニッ クが開発した新世代のマスフローコントローラーを代表する新しい flox[on] B が登場します。熱式マスフローコントローラの実証された技術に基づき、流入圧力(0-16 bar)および流出圧力に影響されない圧力補償比例バルブによりガス 流量を 調節します。さらに、経済的な新設計、最適化された高性能マイクロコントローラー、PCでflox[on]を操作できるマイクロUSBポートを搭載し、3つの異なる仕様から選択することができます。 USBポート 新しいUSBポートにより、flox[on] ...
FCTechnik - Gas Control Systems - flox[on] MFC
流量: 1 l/min - 1,200 l/min
圧力: 16, 70 bar
... けています。そして、FC テクニッ クが開発した新世代のマスフローコントローラー flox[on] S の登場です。熱式マスフローコントローラの実証された技術に基づき、流入圧力(0-16 bar)および流出圧力に影響されない圧力補償比例バルブによりガス 流量を 調節します。さらに、経済的な新設計、最適化された高性能マイクロコントローラー、PCでflox[on]を操作できるマイクロUSBポートを搭載し、3つの異なる仕様から選択することができます。 USBポート 新しいUSBポートにより、flox[on]BをPC ...
FCTechnik - Gas Control Systems - flox[on] MFC
流量: 30 l/min - 5,000 l/min
圧力: 16 bar
... 大 流量用マスフローコントローラflox[on] Jの計測は、温度・圧力補償され、低 流量域と高 流量域で非常に高い制御精度を誇ります。マスフローコントローラの調整制御には、最新設計の圧力補償比例バルブが使用されており、入出口の圧力変動の影響を受けません。flox[on]Jマスフローコントローラは高性能マイクロコントローラーを搭載しています。これにより、非常に迅速でダイナミックな 調節が保証されます。 アプリケーション 特にflox[on] ...
FCTechnik - Gas Control Systems - flox[on] MFC
... flox[on]マスフローコントローラの計測は、下限 流量範囲と上限 流量範囲において非常に高い制御精度で温度と圧力が補償されます。 flox[on]マスフローコントローラの調整制御には、最新設計の圧力補償比例弁が使用されており、流入口および流出口の圧力変動の影響を受けません。 flox[on]マスフローコントローラは高性能マイクロコントローラーを搭載しています。これにより、非常に迅速でダイナミックな 調節が保証されます。 測定原理 流量は、流入圧力（0-16 ...
FCTechnik - Gas Control Systems - flox[on] MFC