Brooks instrumentsのガス用流量計

質量流量: 10 g/h - 27,000 g/h
動作温度: 0 °C - 65 °C
耐圧力: 10 psi - 200 psi

... したパフォーマンスを提供します。 特長 正確なマスフロー測定 正確な密度測定 低質量流量センサパイプによるの100%の流体量（バイパスなし） 独自の光学検出法により、微少流量でも高精度計測が可能 幅広い流量レンジで液体・ガス両方の計測を実行 コプラナーバルブにより、超高速応答時間を実現 マーケットにおける最小サイズかつ最小流量のコリオリメータおよびフローコントローラ 質量流量、体積流量、温度、密度という ...

動作温度: 5 °C - 50 °C
耐圧力: 0 bar - 10 bar
精度: 0.35, 1 %

... デバイス1台で さまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現 1台のデバイスで複数のガスに対応するので、プロセスの柔軟性と生産性が最大限に向上します。ブルックスインスツルメント独自の MultiFlo™ テクノロジーを搭載したGF40シリーズエラストマシールマスフローコントローラ/メータは、多様なガスを使用する、頻繁にガスの種類を変更する、またはガスの測定と制御精度は維持したまま、範囲を再調整する必要のあるシステム、プロセス、施設に最適です。これまでにない流量測定と制御性能を備え、プロセス ...

体積流量: 0 l/min - 300 l/min
動作温度: 0 °C - 50 °C
耐圧力: 0 bar - 34.47 bar

... および繰り返し性で、高清浄度および超高清浄度のプロセスガス供給を実現します。半導体、MOCVD、その他のガス流量コントロール用アプリケーションを想定して作られたGF100シリーズは、高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性を提供します。標準のMultiFlo™ テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポートします。 その結果、 ...

動作温度: 0 °C - 50 °C
耐圧力: 0 bar - 10.34 bar
精度: 0.35, 1 %

... および繰り返し性で、高清浄度および超高清浄度のプロセスガス供給を実現します。半導体、MOCVD、その他のガス流量コントロール用アプリケーションを想定して作られたGF100シリーズは、高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性を提供します。標準のMultiFlo™ テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポートします。 その結果、 ...

体積流量: 0 l/min - 1,000 l/min
動作温度: 0 °C - 65 °C
耐圧力: 0 psi - 1,500 psi

... 条件に当てはまる製品です。数十年に渡って、世界中の数千種類ものアプリケーションでアクティブに使用された実績を持つ本シリーズは、独自の安定した流量センサを備え、現代の要求の厳しい工業生産プロセスに必要な信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います。 特長 微少オーバーシュート/アンダーシュートによる変更に対応する高速フロー応答 取り外し可能な流量センサ 取付姿勢の影響なし 他のマスフローコントローラとの機械的/電気的互換性 電動式バルブオーバーライド 耐腐食バルブ メリット ...

体積流量: 0 l/min - 36,000 l/min
動作温度: -14 °C - 65 °C
耐圧力: 310, 100, 70 bar

... し、プロセスに不可欠なガス/流体マスフローの安定した正確な測定と制御を行います。 特長 NEMA4X / IP66級の高耐久性筐体 幅広い定格流量 - 0.003から2500 slpm 幅広い温度と圧力条件に対応 業界をリードするサーマルフロー測定センサテクノロジーにより、優れた精度を実現 設定可能なマルチガス/マルチレンジ機能 先進的な自己診断ルーチンと独立した診断用サービスポートを備え、MFCを取り外すことなく、ユーザーによるトラブルシューティングや流量条件の変更が可能 DeviceNet ...

体積流量: 40 l/min
動作温度: 5 °C - 50 °C
耐圧力: 0 bar - 10 bar

... コントロールバルブへの応答に最適化された専用のPIDアルゴリズムを搭載し、セットポイントを任意に変更した場合でも、4800シリーズコントローラは実流量を高速で追従させることができます。オプションのローカルオペレータインターフェース（LOI）は、リモートのセカンダリエレクトロニクスを使わず、デバイスを表示、制御、設定する便利なユーザーインターフェースです。 特長 流量応答時間（セトリングタイム） ...

体積流量: 0 l/min - 50 l/min
動作温度: 0 °C - 65 °C
耐圧力: 0 psi - 150 psi

... されたアプリケーション向けのコスト効率の高いガス流量測定 温度や圧力調整が必要なく、長期的に安定した流量測定を行うコンパクトで経済的なマスフローメータが必要なら、5700シリーズのサーマル式マスメータをお選びください。パージガス、プロセス解析、解析フロー測定のニーズを想定して作られており、 タービンメータ、面積式流量計、その他の体積流量計に代わる電子出力信号を備え、コスト効率と安定性に優れています。 特長 測定専用 幅広い流量 ステンレス製接ガス部材質 片面電源入力 0.5 ...

体積流量: 0 l/min - 300 l/min
動作温度: 0 °C - 50 °C
耐圧力: 7 psi - 90 psi

... 移行すると、使用可能なガスに限度がないため、MultiFlo™ マルチガス/マルチレンジ機能のメリットを最大限に活かすことができます。エラストマによる透過酸素を防ぐことによってガスの清浄度を向上し、メタルシールが永久的に継続するので、メンテナンス回数を減らすことができます。 特長 長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下 セトリングタイム ...

体積流量: 0 l/min - 30,000 l/min
動作温度: 0 °C - 65 °C
耐圧力: 0 psi - 1,500 psi

... 、清浄環境において高圧ガス流量を測定・制御します。メタルシール設計と電解研磨による接ガス表面により、優れた流量インテグリティを実現し、安定したガス流量を提供するプロセス全体の効率性を向上します。ガス圧の継続監視や再調整が必要ありません。 特長 長期的なゼロ点安定性：0.2％フルスケール/年以下 3秒以下のセトリングタイムで、微少オーバーシュート/アンダーシュートによる変更に対応 オプションの強化されたプロセス内部仕上げ ...