熱式質量流量計 GF1 series

ガス用インラインステンレススチール製

GF100 シリーズメタルシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ 高清浄流路、 卓越した性能、信頼性、繰り返し性 GF 100シリーズメタルシールマスフローコントローラ/メータは、優れた応答速度および繰り返し性で、高清浄度および超高清浄度のプロセスガス供給を実現します。半導体、MOCVD、その他のガス流量コントロール用アプリケーションを想定して作られたGF100シリーズは、高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性を提供します。標準のMultiFlo™ テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポートします。 その結果、 業界最高レベルのガス清浄度を実現するとともに、プロセスの柔軟性と効率性を向上し、収率と生産性を最大限に拡大することができます。 特長 長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下 セトリングタイム：700 ms - 1秒以下 メタルシール流路：4µ または 10µ インチ Raの表面仕上げオプション 耐腐食ハステロイ® 製T-Riseセンサにより、温度が上昇しても、測定の再現性を向上 MultiFlo™ によりガスとレンジのプログラムが可能 — ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、1台のデバイスで数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポート ローカル表示 オプションでSDSガス供給 DeviceNet™ 、RS-485 L-Protocol、アナログインターフェース メリット 信頼性を実現するため、半導体業界の標準に合わせた連続テストを実行した高性能部品 パージ時におけるドライダウン時間を短縮する、表面積とデッ ドボリュームが削減された耐腐食性オールメタル流路 MultiFlo™ により、MFCを取り外したり、再キャリブレーションせず、新しいプロセスガスおよび/またはレンジを60秒以下で設定可能 高度構成が可能なプラットフォームにより、Celerity、Mykrolis、Tylan、UNITなどのブランドを含むメタルシールMFCの不意の置き換えやアップグレードにも対応 GF120 Safe Delivery System （SDS®）は、インプラントやエッチングプロセスで使用される大気圧以下のSDSガス供給用の、ブルックスの最先端技術を駆使した低圧力損失マスフローコントローラです。 デバイスの取り付け、監視、トラブルシューティングが簡単に行える、便利なユーザー表示と独立した診断/サービスポート