差圧流量調節器 GP200

質量ガス用アナログ

GP200シリーズは、半導体製造における高度なエッチングやデポジションのプロセスに特化して設計された、業界初の完全圧力不感応タイプの圧力ベースのマスフローコントローラ（P-MFC）です。 GP200シリーズP-MFCは、従来のP-MFCの限界を克服し、低蒸気圧のプロセスガスでも高精度なプロセスガス供給を可能にする特許取得済みのアーキテクチャを採用しています。GP200シリーズは、差圧センサーを内蔵し、下流側にバルブを配置するなど、独自の設計を採用することで、業界で最も広い範囲の動作条件で高精度のプロセスガス供給を可能にしています。 GP200シリーズは、幅広いプロセス条件に対応しているため、従来のP-MFCやサーマルMFCの代替品やアップグレード品として使用することができます。また、圧力調整器や変換器などの部品が不要になるため、ガス供給システムを簡易化し、コストを低減することができます。 GP200シリーズのデザインの詳細と、その仕組みをご紹介します。 特徴 差圧のダイレクト測定 低供給圧動作 最先端のバルブアーキテクチャ 超高速・高精度流量コントロール ゼロリーク・コントロールバルブ MultiFlo™テクノロジーにより、MFCをガスラインから外すことなく、何千もの異なるガス種や流量レンジへ制度を維持したまま設定変更することが可能です。 ディスプレイは流量、温度、圧力、ネットワーク・アドレスを確認することが可能です。 DeviceNet™、EtherCAT®、RS-485 L-Protocol、およびアナログインターフェースに対応しています。 利点 GP200は差圧を直接測定するため、2つの異なる圧力センサーのマッチングや補正による測定の不確実性を排除し、精度、再現性、ドリフト性能を向上することが可能です。 低差圧測定用に特別に最適化されたGP200差圧センサーにより、より低い入口圧力でのより安全なファブ操作が、P-MFCで実現できるようになった。 ダウンストリームバルブアーキテクチャにより、下流の圧力に依存しない精度が確保され、1200 Torr の高圧への流量供給が可能になる。高速閉鎖弁は、ガスの内容積を抽気するために追加の時間を必要とする上流のMFC弁設計で見られる非生産的なレシピ待機時間、すなわち「テール効果」に対処する。 流量コントロールは超高速かつ高精度なため、超最先端の成膜・エッチングプロセスにおいて、よりタイトかつ高精度なプロセス制御を可能にします。