熱式質量流量計 GF40

ガス用ステンレススチール製4-20 mA

GF40 シリーズエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ デバイス1台で さまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現 1台のデバイスで複数のガスに対応するので、プロセスの柔軟性と生産性が最大限に向上します。ブルックスインスツルメント独自の MultiFlo™ テクノロジーを搭載したGF40シリーズエラストマシールマスフローコントローラ/メータは、多様なガスを使用する、頻繁にガスの種類を変更する、またはガスの測定と制御精度は維持したまま、範囲を再調整する必要のあるシステム、プロセス、施設に最適です。これまでにない流量測定と制御性能を備え、プロセスの柔軟性を新たな次元に高めます。 特長 設定可能なマルチガス/マルチレンジ機能 Brooks® MultiFlo™ ガスデータベースは、補正する関数を確立するための数千もの実ガステストに基づく 負荷の高いアプリケーションでも、1秒未満の応答時間とセットポイント1%の精度 さまざまなガスに対応 高速応答のハステロイ製センサ ツールの通信系と独立し、アクセスしやすい診断サービスポートを搭載 DeviceNet™, EtherCAT®, Profibus®, RS-485 アナログインターフェースなど、マルチプロトコル通信オプション メリット MFC（マスフローコントローラ）をガスラインから取り外さず、新しいガスキャリブレーションとフルスケールレンジに対応するMultiFlo™ テクノロジーを搭載し、プロセス生産稼働時間を最大限に拡張 シンプルでわかりやすいMultiFlo™ プログラミング：異なるガスへの選択切替が 60秒未満で可能 OEMや大規模なエンドユーザー様が所有するガス種と流量レンジが固定されたコントローラーの在庫削減 グローバルスタンダードに基づいた高性能の計測システムやキャリブレーションにより、優れたプロセスガス精度を実現 耐腐食性センサにより、最大の収率とスループットを保証するセンサの長期安定性を提供 ユーザーがアクセスしやすいサービスポートを搭載し、トラブルシューティングと診断作業を簡素化 様々なアプリケーションで柔軟なパフォーマンスを合理的コストで実現するエラストマシール 数種類のプロトコル通信インターフェースにより、既存システムへの組み込みをサポート 用途 太陽電池CVD（化学蒸着）システム ライフサイエンスバイオリアクタ 真空プロセス ナノテクノロジー/MEMS製造 プラズマ、ガラス、ウェブ被膜システム マニホールド/ガス供給システムの選択肢