熱式質量流量計 9861
ガス用ステンレススチール製RS485

熱式質量流量計
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特徴

技術
熱式質量
流体
ガス用
材質
ステンレススチール製
通信
RS485
供給電圧
5VDC
応用
産業用, 厳しい環境用
その他の特徴
デジタル, 精密, 遠隔, 高温, 質量流量制御器
動作温度

最少: 0 °C
(32 °F)

最大: 150 °C
(302 °F)

耐圧力

最少: 0 psi

最大: 90 psi

精度

0.35 %, 1 %

繰返し精度

0.15 %

詳細

ブルックスインスツルメントの9861シリーズ高温サーマルマスフローコントローラ/メータは、プリカーサやドーパントの高温供給における厳しい条件に合わせて作られており、あらゆるプロセスガスや気体に対応する清浄度・リークインテグリティの高いメタル流路を備えています。特許取得のIsoSensor™ は、加熱ガスラインやベーキングシステムなど環境温度が上昇する条件にも対応する安定性の高いフローセンサです。IsoSensor™ の優れたドリフト性能により、高温アプリケーションでは起こりがちなゼロ点補正(再調整)や再キャリブレーションの必要性を低下させています。 特長 安定性の高いIsoSensor™ 流量測定センサ(特許取得済み) 極めて正常性の高い流路 アナログコネクタが2本付属。リモートエレクトロニクスを標準装備 デジタル測定と制御アーキテクチャ メリット 安定性の高いセンサにより、稼働時間が向上し、メンテナンスの必要性とCOOを削減 フルメタルのガス流路で、ガス/気化ガスのインテグリティと清浄度を保持 20ピンカードエッジ、および9ピンまたは15ピンのDコネクタが付属. 標準化が可能で、予備品在庫を削減 精度とプロセス制御を向上 用途 光ファイバー製造 - MCVD シリコン半導体装置製造プロセス

カタログ

9861 Series
9861 Series
5 ページ

見本市

この販売者が参加する展示会

ACHEMA 2024
ACHEMA 2024

10-14 6月 2024 Frankfurt am Main (ドイツ) ホール 11.1 - ブース F26

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    *価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。