Quantim® シリーズコリオリ式マスフローコントローラ/メータ
コリオリ式微小流量の測定と制御の業界標準
ブルックスインスツルメントのQuantim® コリオリ式マスフローコントローラとメータは、微小流量のガス/流体測定や制御において、高い精度とゼロ安定性を実現します。ブルックスは、コリオリ式フローテクノロジーの向上・改善をリードしています。特許取得済みのコリオリ式センサは、流体のタイプやプロセス変動に関係なく、低流量の測定が可能です。その結果、条件が変化する場合でも、精度、安定性、繰り返し性、再現性の高いマスフロー測定と制御を実現し、卓越したパフォーマンスを提供します。
特長
正確なマスフロー測定
正確な密度測定
低質量流量センサパイプによるの100%の流体量(バイパスなし)
独自の光学検出法により、微少流量でも高精度計測が可能
幅広い流量レンジで液体・ガス両方の計測を実行
コプラナーバルブにより、超高速応答時間を実現
マーケットにおける最小サイズかつ最小流量のコリオリメータおよびフローコントローラ
質量流量、体積流量、温度、密度という 4つのパラメータから2つを測定し出力可能
独立した診断/サービスポートとユーザーディスプレイ
豊富な材質オプション、筐体タイプ、設置面積に対応
メリット
高度なセンサと配管テクノロジーにより、微少流量でも高精度な測定を実現
計測システムの交換や再校正をすることなく、プロセス流体および/またはプロセスの条件を変更可能
複数の出力により、プロセス状態のモニタと診断を簡素化・改善し、利益を向上しながら、COOを削減
パッケージに内蔵センサ、バルブ、PID制御を統合し、購入、設置、立ち上げを合理化
セットポイントが2秒以下になり、材料の削減が可能
複雑なプロセスシステムにも簡単に設置可能なコンパクトなサイズ
内部に可動部がないので、メンテナンスの必要性なし
用途
真空プロセス
触媒研究
気化機へのプリカーサ供給
精密コーティング
高精度充填ステーション
測定ポンプフィードバック/制御ループ