質量流量調節器 5850EMH

ガス用ステンレススチール製アナログ

5850EMH シリーズ 高温マスフローコントローラ 実証された長期安定性。高温アプリケーション向けの超高清浄性能 ブルックスインスツルメントの5850EMH シリーズメタルシールマスフローコントロラは、リークインテグリティの高いメタルシールに、柔軟なアプリケーション対応を可能にするさまざまなオプションを組み合わせ、最先端の高温ガス測定および制御を実現します。5850EMHの中心は、電子出力信号と流量を表示する安定性の高いセンサーです。この信号は、自動ゼロ調整回路を使用せず、表示、記録、制御を行う場合に使用します。 特長 高リークインテグリティ（10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He 以下） 高清浄VAR 316Lステンレス製 粒子の発生を防ぐ ヘリウム漏れチェックポート 平常時クローズドバルブ（平常時オープンバルブのオプションもあり） 電動式バルブオーバーライド 低コマンド流量カットオフ TTl準拠の「バルブオフ」機能 メリット 安定性が高く、実証された製品プラットフォーム 最大100 lpm（N2と同等）の高流量性能 ガス清浄度を向上し、リークを削減するメタル製流量経路 アナログ専用入力/出力により、取り付けとサービスが容易 用途 光ファイバー製造 - MCVD、OVD、AVD 流量蒸気流制御