CUBICのガスセンサー

... 製品概要
Gasboard-2061は、タングステンCVD（WCVD）チャンバーの洗浄エンドポイント検出向けに設計されたNDIR方式のWF6 ガス セン サーです。プロセス条件下でWF6濃度を高感度かつ安定的に計測し、洗浄の終了判定をリアルタイムで行うことで、洗浄時間の短縮、過剰な ガス使用の抑制、チャンバー摩耗の低減に寄与します。

Gasboard-2061はコンパクトでモジュール式の設計により取り付けが容易です。アナログ／デジタルの入出力を備え、較正・調整が可能でプロセス ...

... チャンバーのリアルタイムチャンバー洗浄エンドポイント検出（EPD）向けに設計された高性能 SiF4 ガス セン サーです。特別に設計された ガスチャンバーと非分散型赤外線（NDIR）技術に基づき、半導体チャンバー洗浄プロセスにおける SiF4 濃度を高選択性かつ高精度で測定します。Gasboard-2060 は SiF4 濃度をリアルタイムで監視し、洗浄エンドポイントを迅速かつ正確に検出して洗浄時間と ガス消費を削減し、チャンバーの摩耗を最小限に抑えて構成部品の使用寿命を延ばします。モジュール設計により取り ...

測定範囲(ppm): 0 unit - 20,000 unit
測定範囲(%): 0 % - 20 %

... br>セグメント：自動車排気 ガス分析器
部門：OEM用 ガスベンチ

特徴

• CO、CO2、HCの同時計測が可能な統合型NDIRガスベンチ。
• 自動温度補償により、運用条件下で安定した測定を実現。
• リーク試験および圧力補償用の差圧／絶対圧センサーを内蔵。
• 短いウォームアップ時間で迅速な稼働を実現。
• モジュール設計により、O2およびNOxの電気化学式センサーやカスタム構成に対応。
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測定範囲(ppm): 0 unit - 5,000 unit

... 1つの セン サーベンチで1つの ガスを測定 特許(PCT/CN2018100767)のデュアルチャンバー セン サーで、測定 ガスと基準 ガスで高精度を実現。 SO2、NO以外にCO、CO2、CH4、SF6も測定可能 自動温度補償 水分調整装置を内蔵し、H2Oの干渉を排除 測定範囲は カスタマイズ可能 優れた安定性と長寿命 仕様 ガスのタイプSO2、いいえ、CO、CO2、CH4 技術マイクロフローNDIR 用途燃焼の最適化 IAQモニタリング 個人安全検出 TOC分析 工業処理制御 汚染排出監視 ガス分析器/ ...

... である。測定 ガスと基準 ガスは、別々の2つのチャンバーにあります。赤外線光源が測定 ガスと基準 ガスにそれぞれ照射されると、検出器によって形成された信号波形が信号処理システムを通過し、比率値によって測定 ガス濃度が得られます。 特徴 - 高精度デュアルビームNDIRとマイクロ流体NDIR セン サー技術の採用 - ...

... 製品紹介 Gasboard-2000 NDIR ガスベンチは、分散型赤外線（NDIR）検出原理に基づいており、ガソリンエンジンや石油エンジンからの排気 ガス中のCO、CO2、HCを測定します。電気化学式O2 セン サーとNO セン サーはGasboard-2000に簡単にプラグインできます。先進の国際規格に準拠しています：OIML ...

... Gasboard-2102はGasboard-2000シリーズから派生し、マイクロフローNDIR ガスベンチの利点はそのままに、低濃度NO検出に特化した高精度NDIR NO ガスベンチです。 特徴 - 低濃度NO検出用マイクロフローNDIR作動原理 - 高精度のための二重部屋 - 容易な統合のためのモジュラー設計 - 自動温度・圧力補正 仕様 測定：NO NO: 0~200~5000ppm 測定範囲は カスタマイズすることができます 線形間違い: ...

測定範囲(ppm): 0 unit - 5,000 unit

... 製品紹介 Gasboard-2200 UV-DOAS NOx ガスベンチは NO 及び NO2 を同時に測定するために高精度の紫外線差動吸収分光学の ガス分析技術を採用します。それは適用範囲が広い統合、良質および容易な維持のために ガス検光子および PEMS の製造業者によって広く利用されています。 特徴 - NOxコンバータなしでNO、NO2を同時に直接検出 - 測定 ガス間の相互干渉なし - ...

測定範囲(ppm): 0 unit - 1,000 unit

... 製品紹介 Gasboard-2300 NDUV NO2 ガスベンチはNO2 ガスを測定するために非分散紫外線吸収(NDUV)技術と非常に安定したパルスLED UVソースを採用しています。それは NOx のコンバーターなしで高精度および強い反干渉の NO2 の ガス集中を測定できます。 特徴 - NDUVによる高精度のNO2直接検出 - 複雑なNOxコンバータが不要 - 水分コンタミのない超低レンジのモニタリングに最適 - ...

... したマイクロフロー NDIR 技術を用いた CO ガスベンチで、同じ利点を持つ Gasboard-2000 シリーズから、低濃度 CO 検出にのみ焦点を当てた製品です。それは 0~200ppm のような低い範囲を検出でき、 ガス検光子製造業者が統合するために非常に適した密集した、高精度 NDIR の CO の ガス・ベンチです。 自動車排気 ガス試験 大気・排 ガス環境試験 測定：CO CO:0~200~1000~10000ppm 測定範囲は カスタマイズすることができます 線形間違い: ...