Precision STAGEの高精度ポジショニングステージ

ストローク: 100, 200 mm
速度: 500 m/s
繰返し精度: 0.3 µm

... -XY ( 高精度リニアモータ ステ ージ) XY リニアモータモー ション ステ ージ 簡単な説明 移動範囲 100 mm × 100 mm または 200 mm × 200 mm 一方向の繰り返し 精度 0.3 µm アイアンレス 3 相リニアモータ 速度 500 mm/s ...

ストローク: 10 mm
速度: 500, 50 mm/s
繰返し精度: 0.3 mm

... 平坦性に優れた昇降 ステ ージ 垂直 ステ ージのプラットフォーム設計により、優れた直進性と平坦性を実現し、片持ち梁荷重によりピッチとヨーの性能が向上します。 片持ち梁荷重が支持リニアベアリ ングのたわみを引き起こす可能性がある垂直マウントのリニア位置決め ステ ージと比較して、より優れたピッチとヨーの性能を提供します。 片持ち梁荷重が支持リニアベアリ ングのたわみの原因となる垂直取り付けリニア位置決め ステ ージに比べ、ピッチとヨーの性能が向上します。 ボイスサーボモーターによる高分解能リニアモー ションE-ABVT-Z ...

速度: 15, 100 mm/s
繰返し精度: 0.2, 0.3 µm

... HEX-S5.10.60-XXXシリーズ パラレルモー ションプラットフォーム 6自由 ステ ージ 簡単な説明 6自由度のパラレルモー ション設計により、シリーズモー ションシ ステムよりもコンパクトで剛性が高く、ダイナミックレンジが大きく、可動ケーブルがないため、より安定し、摩擦が少ない。 ...

速度: 50, 100, 20, 300 mm/s
繰返し精度: 300, 20, 100, 2, 200 nm
積載量: 8, 10 kg

... は弊社が最近発売した 高精度デスクトップ型スキャンシ ステムです。機械全体は安定性に優れた大理石ベースを採用し、 高精度のXY軸とZ軸モー ション ステ ージを搭載し、光路設置と照明を予約しています。機構は非常に迅速に顧客の要求を満たす様々なアプリケ ーションに組み合わせることができます。現在、半導体ウエハースキャ ニング、生物検出、干渉計測定などの 高精度アプリケ ーションで大きな成功を収めています。MiniSCANシリーズの主な特徴 ...

速度: 2 m/s
繰返し精度: 0.3 µm
積載量: 1 g

... 寸法と優れた動的性能を持っており、特にスペースサイズに敏感な人に適しています。 一体構造加工で剛性・安定性が高く、平坦度が高い。 非接触ダイレクトドライブモーター、超 高精度、優れた動的性能 アイアンレスモーター、速度変動は1000分の1以下（指定されたタイプのドライブと組み合わせ、実験室環境でのテスト データ）。 マイクロ ステップ制御を保証する静かでクリープ防止ガイドレール 長寿命、メンテナンスフリーで長期間使用可能 ...

速度: 0 mm/s - 5 mm/s
繰返し精度: 0.1 µm
積載量: 0 kg - 25 kg

... E-TRIシリーズ E-TRI-VM-R1 平行移動 ステ ージ 簡単な説明 イ ンクリメンタルリニアエンコーダによる 高精度位置測定 非接触光学式リニアエンコーダは、最も高い 精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非直線性、機械的な遊び、弾性変形は測定に影響しません。 ...

速度: 0 mm/s - 100 mm/s
積載量: 0 kg - 60 kg

速度: 3,000 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm
積載量: 200 kg

... 一次元エアフローティ ングモー ション ステ ージ 簡単な説明 完全予圧式エアベアリ ング 最大 1000 mm のトラベルが可能 高精度リニアエンコーダフィードバック 完全非接触設計 優れた速度安定性を実現する超滑らか設計 は、負荷能力を犠牲にすることなく、一般的なエアベアリ ング ステ ージよりも小さな断面を特徴としています。大きなエアベアリ ング面は優れた剛性を提供し、高負荷を可能にします。独自の製造技術により、卓越したピッチ、ロール、ヨー特性を実現。リニアモータードライブ この ステ ージの原動力はPrecision-stage ...

ストローク: 50 mm
速度: 100 m/s
繰返し精度: 0.2 µm

... .100-XXXシリーズ 平行6自由度 ステ ージ 簡単な説明 特徴 高精度、組み立て可能、カスタマイズ可能、ライト口径460mm コンパクトで堅牢な ステ ージで、安定した信頼性の高いモー ション 精度を実現します。 超微細な位置決め分解能と十分な可搬重量を備えており、使用可能なスペースが限られている場合に、複雑な多自由度モー ションを必要とするアプリケ ーションに最適です。半導体テストウェハーのレベリ ングに適しています。光学検査、大口径中空アパーチャー調整光路のアプリケ ーションシナリオ。 ...

ストローク: 100, 200, 300 mm
速度: 500 m/s
繰返し精度: 0.3 µm

... 静かで滑らかな使用音、非常に低いノイズ ● 非常に高いレベルの精密性能 前へ: E-LMT-XYZ（ 高精度一体型XYZ軸 ステ ージ） 次へHEX-S6.50.200 6軸トライポッド構造体 パラレル6自由度 ステ ージ 高精度リニアモータ ステ ージ 高精度Xyリニア ステ ージ Xy ステ ージマイクロメーター ...