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ストローク: 50 µm - 240 µm
繰返し精度: 5, 10 nm
... 大口径でハイダイナミ クスを実現 - パラレル・キネマティ クスによる高速応答と高い多軸 精度 - ゼロプレイ、 高精度のフレクシャーガイドシ ステム - PICMA®ピエゾアクチュエータによる卓越した寿命 - 66 mm × 66 mmのクリアアパーチャー - 静電容量式センサーによる最高の直線性 - 計測技術 - 干渉計 - フォトニ クス/集積光学系 - ...
Physik Instrumente
ストローク: 100, 400, 800 µm
繰返し精度: 50, 10 nm
... 比べ、格段に速い応答と長い寿命 - サブ nm 分解能での対物レンズの微細位置決め - 静電容量式センサーによる直接位置測定最高の直線性 - Ø 29 mmの大きなクリアアパーチャー 応用分野 - 3Dイメ ージ ング - スクリー ニング - 干渉計 - 測定技術 - オートフォーカスシ ステム - バイオテクノロジー - 半導体検査 PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命 PICMA®ピエゾアクチュエータはオールセラミック絶縁です。これにより、湿度やリーク電流の増加による故障からアクチュエータ ...
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ストローク: 22 mm
速度: 0.2 m/s
繰返し精度: 0.2 µm
... - 省スペース・軽量 - 高いガイド 精度 - 10nmの高いセンサー分解能 - セルフロック式で静止時の発熱がない - 低ノイズ 精密級リニア位置決め ステ ージ PILine® ステ ージは、高速精密位置決めを必要とするアプリケ ーションに特に適しています。スイッチを切ると、セルフロックドライブが ステ ージの位置を機械的に安定させます。そのため、エネルギー消費と発熱が大幅に削減されます。バッテリー駆動や熱に敏感な低デューティサイクルのアプリケ ーションでは、このような特性のメリットがあります。軸の位置はエンコーダ ...
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... 200°/s DC、BLDC、 ステッピ ングモーター 方向感知リファレンススイッチ 真空対応のバリエ ーションあり リファレンスクラス回転 ステ ージ ウォームギアによる 高精度位置決め。プリロードピボットベアリ ングによる高い振れ 精度35 ...
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ストローク: 400, 50, 200, 300, 100 mm
速度: 1, 0.5 m/s
繰返し精度: 0.1 µm
... - スキャ ニングアプリケ ーションや 高精度位置決めに最適 - クリーンルーム対応 - モー ションプラットフォームのサイズ 160 mm × 200 mm - 耐荷重100 N PIglide位置決めシ ステムは、磁気リニアモーター、磁気予圧空気軸受、光学式リニアエンコーダを備えています：非接触で摩擦のない動きにより、最高の 精度と信頼性を実現 アクセサリーとオプ ション - ...
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ストローク: 50 mm - 350 mm
速度: 1 m/s
繰返し精度: 0.25 µm
... リニアモータは、 ステ ージを数ミリ秒以内に最高速度まで駆動できます。プリロードエアベアリ ング構造により、あらゆる方向への取り付けが可能です。 アクセサリーとオプ ション エンコーダ PIglideフィルターおよびエア供給キット 多軸モー ションコントローラとダイレクトドライブ XYセットアップと個別設定 ケーブルトラックのバリエ ーション 垂直アセンブリ用のカウンターバランスオプ ション 花崗岩製のベースプレートと振動低減シ ステム 応用分野 PIglide位置決めシ ステムは、半導体やフラットパネル・ディスプレイ ...
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ストローク: 5, 2.5 mm
速度: 200 mm/s
繰返し精度: 0.25 mm
... 搭載のエアベアリ ングZチップ/チルト ステ ージです。パラレルキネマティック多軸シ ステムとして設計され、このプラットフォームはZおよびチップ/チルトモー ションに使用できます。この ステ ージは、超 高精度をミニチュアサイズで提供します。非接触コンポーネントの組み合わせにより、最高の性能、品質、寿命を提供する摩擦のないモー ションプラットフォームが実現しました。 A-523をA-81xまたはA-82xシリーズのコントローラと一緒にご注文いただくと、PIがサーボチュー ニングの最適化を適用したZ ステ ージの設定と配線を ...
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