空気軸受ポジショニングステージ A-121 PIglide AT1 series

リニアリニアモータ駆動多軸

- スキャニングアプリケーションや高精度位置決めに最適 - クリーンルーム対応 - モーションプラットフォームのサイズ 115 mm × 115 mm - 60mmからのロープロファイル - 分解能1 nm 製品概要 PIglideのステージは、プリロードエアベアリングと一体型リニアエンコーダを備えたサーボドライブリニアモータを装備しています。これらの非接触コンポーネントの組み合わせにより、最高の性能、品質、寿命を提供する摩擦のないモーションプラットフォームが実現します。 高出力リニアモータは、ステージを数ミリ秒以内に最高速度まで駆動できます。プリロードエアベアリング構造により、あらゆる方向への取り付けが可能です。 アクセサリーとオプション エンコーダ PIglideフィルターおよびエア供給キット 多軸モーションコントローラとダイレクトドライブ XYセットアップと個別設定 ケーブルトラックのバリエーション 垂直アセンブリ用のカウンターバランスオプション 花崗岩製のベースプレートと振動低減システム 応用分野 PIglide位置決めシステムは、半導体やフラットパネル・ディスプレイ製造における計測、フォトニクス、精密スキャニングなど、多くの高精度アプリケーションに最適です。 摩擦のない動きにより、パーティクルが発生しないため、PIglideステージはクリーンルーム用途に理想的です。