空気軸受ポジショニングステージ A-121 PIglide AT1 series

リニアリニアモータ駆動高精度

- スキャン用途や高精度な位置決めに最適 - クリーンルーム対応 - モーションプラットフォームの大きさ 115 mm × 115 mm - 60mmからのロープロファイル - 1 nmの分解能 PIglideのステージには、プリロードされたエアベアリングと内蔵リニアエンコーダを備えたサーボ駆動リニアモータが搭載されています。これらの非接触コンポーネントの組み合わせにより、最高の性能、品質、寿命を実現する摩擦のないモーションプラットフォームが実現します。 高出力リニアモーターは、数ミリ秒以内にステージを最高速度まで駆動することができます。プリロードのかかったエアベアリング構造により、あらゆる方向への取り付けに対応します。 応用分野 PIglide位置決めシステムは、計測、フォトニクス、半導体やフラットパネルディスプレイ製造における精密スキャンなど、多くの高精度アプリケーションに理想的です。 摩擦のない動作により、パーティクルが発生しないため、PIglideステージはクリーンルーム用途に理想的です。