空気軸受ポジショニングステージ A-110 PIglide LC series
リニアリニアモータ駆動高精度

空気軸受ポジショニングステージ
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特徴

方向
リニア
タイプ
リニアモータ駆動
その他の特徴
高精度, ポジション エンコーダ, 空気軸受
ストローク

50 mm, 100 mm, 200 mm, 300 mm, 400 mm
(1.969 in, 3.937 in, 7.874 in, 11.811 in, 15.748 in)

速度

0.5 m/s, 1 m/s
(1.64 ft/s, 3.28 ft/s)

繰返し精度

0.1 µm

詳細

- スキャニングアプリケーションや高精度位置決めに最適 - クリーンルーム対応 - モーションプラットフォームのサイズ 160 mm × 200 mm - 耐荷重100 N PIglide位置決めシステムは、磁気リニアモーター、磁気予圧空気軸受、光学式リニアエンコーダを備えています:非接触で摩擦のない動きにより、最高の精度と信頼性を実現 - エンコーダ - PIglideフィルタとエア供給キット - 単軸および多軸モーションコントローラ - XYセットアップと個別設定 - 花崗岩製のベースプレートと振動低減システム 応用分野 PIglide位置決めシステムは、計測、フォトニクス、半導体やフラットパネル・ディスプレイ製造における精密スキャニングなど、多くの高精度アプリケーションに最適です。 摩擦のない動きにより、パーティクルが発生しないため、PIglideステージはクリーンルーム用途に理想的です。

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。