空気軸受ポジショニングステージ A-523.25005B3

Z軸傾斜電動式

回転範囲（θX、θY） ±1°まで プラットフォーム直径 250 mm 全高 60 mm 製品概要 A-523は、ダイレクトドライブ搭載のエアベアリングZチップ/チルトステージです。パラレルキネマティック多軸システムとして設計され、このプラットフォームはZおよびチップ/チルトモーションに使用できます。このステージは、超高精度をミニチュアサイズで提供します。非接触コンポーネントの組み合わせにより、最高の性能、品質、寿命を提供する摩擦のないモーションプラットフォームが実現しました。 A-523をA-81xまたはA-82xシリーズのコントローラと一緒にご注文いただくと、PIがサーボチューニングの最適化を適用したZステージの設定と配線を負荷をかけて行います。すぐに使用できる位置決めシステムが完成します。 アクセサリーとオプション エアフィルターセット 応用分野 Zチップ/チルトステージは、ウェハ検査、ファイバー位置決め、光学部品位置決め、フラットスクリーン検査、マスクレスリソグラフィー、超LED製造などの高精度アプリケーションに最適です。非接触設計はクリーンルーム用途に最適です。