空気軸受ポジショニングステージ A-523.25005B3

Z軸傾斜モーター式

高性能 - クリーンルーム対応 - 薄型 - 回転範囲 θX, θY ±1°以内 - プラットフォーム直径 250 mm - 全高 60 mm A-523は、ダイレクトドライブ方式のエアベアリングZチップ/チルトステージです。パラレル・キネマティック多軸システムとして設計されており、プラットフォームはZおよびチップ/チルト動作に使用することができます。このステージは、超高精度をミニチュアサイズで提供します。非接触部品の組み合わせにより、摩擦のないモーションプラットフォームとして、最高の性能、品質、寿命を提供します。 A-523をA-81xまたはA-82xシリーズのコントローラと一緒にご注文いただくと、PIがサーボチューニングの最適化と負荷がかかった状態でのZステージの設定とケーブル配線を実施します。すぐに使える位置決めシステムを完成させることができます。 アクセサリーとオプション - エアフィルターセット - 真空クランプ機構内蔵 応用分野 ウェーハ検査、ファイバー位置決め、光学系位置決め、フラットスクリーン検査、マスクレスリソグラフィー、超LED製造などの高精度アプリケーションに最適なZチップ/チルトステージです。また、非接触式のため、クリーンルームでの使用にも最適です。