RoboTechnik Intelligent Technology Co Ltdのプロセスオートメーション システム

... します。 各メーカーのウェーハ拡散装置と石英ボートのサイズに対応しています。 特徴 : ローディングとアンローディング。カセット 出力：石英ボート オンライン角形抵抗、検出、親水性テスト、欠落ピース検出、水ピース検出をオプションで追加できます。 MESインターフェースとリモートデバッグ機能をオプションでサポート OEE統計とエネルギー消費量分析 セラミック製吸盤、セラミック製クイックインサートトップギア イオンスプリットエアナイフを標準装備 オプションでMES機能、遠隔診断機能をサポートします。 スマート ...

... プロセス : 156/230サイズのウェーハに対応 チューブ型PECVD装置、プレート型PECVD装置の各サイズに対応 特徴 ローディング＆アンローディング ： カセットまたはスタック ローディングとアンローディング。カセットまたはスタック 出力：グラファイトボート ボートの温度モニタリング オプションでオンライン色差・膜厚検知、PL検知、デブリ検知が可能です。 反ったフィルムの検出、フリップ オプションのサポートMESインタフェースとリモートデバッグ機能 インテリジェントマシン、OEE統計、エネルギー ...

... プロセス : M2(156.75)、M4(161.75)、G1(158.75)、M6(166)、M10(182)、M12(210)、230mmのシリコンウェーハに対応。 異なるサイズのPERC装置に対応 特徴 ローディングとアンローディング。カセットまたはスタック 3フィード、3アンローディング 出力：グラファイトキャリアボックス オプションサポート MESインターフェースとリモートデバッグ機能 ...

... プロセス : M2 (156.75), M4 (161.75), G1 (158.75), M6 (166), M10 (182), M12 (210), 230mmのシリコンウェーハに対応。 各社のウェハ検査装置およびPSG除去装置に対応 特長 : 入力端子カセットまたはスタック 出力: カセットの種類 オプションの高精度エッチング量計量デブリ検出、ラミネート検出、フリップ オプションのマッチ5,6,8,10レーン オプションのサポートMESインターフェイスとリモートデバッグ機能OEE統計＆エネルギー ...

... プロセス : M2 (156.75), M4 (161.75), G1 (158.75), M6 (166), M10 (182), M12 (210), 230mmのシリコンウェーハに対応。 各社のウェハ検査装置およびPSG除去装置に対応 特長 : 入力端子カセットまたはスタック 出力：カセットの種類 オプションで高精度の計量、クラッキング、サイズ、フラグメント検出が可能 オプションのマッチ5,6,8,10レーン オプションのサポートMESインターフェイスとリモートデバッグ機能OEE統計＆エネルギー ...

... プロセス : 125/156サイズのウェーハに対応 チューブ型PECVD装置、プレート型PECVD装置の各サイズに対応 特徴 オンライン・デュアルチャネル・デザインを全ABで共有 AOIとIVテストのオンライン統合 着信セルの自動検出・投射機能 リニアモーターのクイックピック＆プレース機能 スタンドアローン4ステーションプラットフォーム 高速・高生産性 高速・高生産性 ...

... プロセス : M2 (156.75), M4 (161.75), G1 (158.75), M6 (166), M10 (182), M12 (210), 230mmのシリコンウェーハに対応。 チューブPECVD装置、プレートPECVD装置の異なるサイズに対応 HJTプロセスに対応 特長 : ローディング＆アンローディングカセット 出力：グラファイトキャリアボックス PLテスト（オプション クリーンルームクラス1000 キャリアーボード自動洗浄機能 サポートMES機能、リモート診断機能（オプション ...