STEINMEYERのサーボモータ配置システム

繰返し精度: 1 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 200 mm - 1,000 mm

... (XY) / ボールネジ、ACサーボ (Z) - フィードバック：リニアスケール - モーションコントローラーFMCシリーズ、ACS、PLC統合 カスタマイズされたオプション - プロセス適合性、サンプルホルダー、ヘッド/センサー - クリーンルームISO 14644-1対応バージョン（ご要望に応じてクラス1まで対応可） - ラック、防振、エンクロージャー、安全コンセプト - ...

繰返し精度: 0.3 µm - 2.5 µm
積載量: 5 kg - 20 kg
ストローク: 100 mm - 720 mm

... 最大荷重150 N (XY) / 200 N (Z) - 駆動方式：リニアモーター（アイアンレス）、プロファイルレール（XY）｜ボールネジ、ACサーボ（Z） - フィードバック：リニアスケール、モーターエンコーダー - モーションコントローラーFMC-250/280、ACS、PLCインテグレーション - ...

繰返し精度: 0.2 µm - 2.5 µm
積載量: 25 kg
ストローク: 200 mm - 700 mm

... - 速度: 500 - 1000 mm (XY) / 50 - 100 mm (Z) - 最大荷重250 n (X) / 3100 n (Y1, Y2) / 1010 n (Z) - 駆動：リニアモーター（鉄芯）｜ボールネジ、ACサーボ（Z） - フィードバック：リニアスケール、モーターエンコーダ - モーションコントローラFMC-250/280、FMC-400/450、ACS、PLC ...

繰返し精度: 0.7 µm - 1 µm
積載量: max 15.0 kg
ストローク: 200 mm - 1,300 mm

... (XY) / 50 - 100 mm (Z) - 最大荷重150 N (Z) - 駆動：リニアモーター（鉄芯）、プロファイルレール（XY）｜ボールネジ、ACサーボ（Z） - フィードバック: リニアスケール - モーションコントローラFMC-250/280、FMC-400/450、ACS、PLC統合 カスタマイズオプション - スタッキング可能なシステム設計 - ...

繰返し精度: 0.3 µm - 2.5 µm
速度: 150 mm/s - 750 mm/s

... アイアンレスダイナミックリニアモーター（XY）｜ACサーボ、ボールねじ（Z） - フィードバックリニアスケール（XY）｜モーターエンコーダー（Z） - クリーンルーム仕様：ISOクラス2まで対応 カスタマイズオプション - クリーンルーム適合 ISO 14644-1 クラス 2 (ご要望によりクラス 1 まで) - 排気および回転ベルトカバー用コネクション - ...

繰返し精度: 0.001 µm - 4.4 µm
ストローク: 1.5 mm - 100 mm
速度: 0.4 mm/s - 1,400 mm/s

... オフセットを補正 - ビームライン開口部45 mm - 0.0005°までの精度を実現するエアベアリングロータリーステージ この位置決めシステムは、6自由度のタンジェンシャルスキャンを非常に高い再現性で可能にします。焦点、角度、距離が調整可能なサンプルホルダーは、4軸の傾きと横方向のオフセットを補正するアパーチャー付きXYZファイデルタアライナー上に設置されています。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.4 µm - 0.8 µm
ストローク: 100 mm - 300 mm
速度: 80 mm/s - 630 mm/s

... 380 n (Y) / 60 n (Z) / 20 n (Z1-5) - モーターアイアンレスダイナミックリニアモーター (XYZ) / AC-サーボ、ボールねじ (Z, Z1-5) - フィードバックリニアスケール カスタマイズオプション - モジュラーシステム構成 - 追加のプリントヘッド、カメラ、センサーを統合するために、最大5つの強力なセカンダリZ軸で拡張可能 - ...