リニアモータ駆動配置システム

繰返し精度: 0.02 mm - 0.1 mm
積載量: 3 kg - 120 kg
速度: 100 mm/s - 4,000 mm/s

... 直線運動XYZステージガントリーロボット多軸位置決めガイドシステムベルト駆動アクチュエータ ボールねじモジュール、ベルト駆動リニアガイド、位置決めステージ、直交ロボット用モーションコントローラ。CE、FCC、RoHS、ISO9001認証。 多種多様な即出荷可能製品 10個からの数量割引 カスタムOEMソリューション プログラミングサービス OEMまたはカスタム設計が必要な場合は、こちらをご覧ください - https://www.fuyumotion.com/industry-solution FUYU ...

繰返し精度: 1 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 200 mm - 1,000 mm

... 高度にダイナミックなアプリケーションに対応するXYZガントリー カスタマイズ可能 - 高精度かつダイナミックなアプリケーションに最適 - 1300 x 800 mmの非常に広い移動範囲 - 高加速度・高速度と高精度の両立 このガントリーは、1300 x 800 mmの領域で、非常にダイナミックな動きを可能にします。カスタマイズされた加工ヘッドやZ軸のセンサーは、グラナイト上のキャリア上を素早く、スムーズに移動します。プロファイルされたレールガイドは、花崗岩に直接取り付けられており、サブミクロンの再現性の高い結果を得るために最適な走行特性を提供します。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.3 µm - 2.5 µm
積載量: 5 kg - 20 kg
ストローク: 100 mm - 720 mm

... 半導体用XYZデュアルインスペクションポータル カスタマイズ可能 - ウェハー/半導体の自動検査に最適 - 各2 x 720 x 720 x 100 mmの非常に大きな移動範囲 - 2つのプロセスを同時に統合することが可能 クリーンルーム用4軸で構成され、複数の対象物を同時に自動計測できる検査システムです。高いダイナミクスと最高の再現性を実現しています。片側1台の高解像度カメラまたはセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状の検査、測定、特別な品質特性の記録を行います。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.5 µm - 2 µm
ストローク: 100 mm - 600 mm
速度: 25 mm/s - 200 mm/s

... XYZユニバーサル ガントリー カスタマイズ可能 - 高精度で汎用的なオーバーヘッド動作に最適 - 600 x 600 x 100 mmの非常に大きな移動範囲 - 繰り返し精度0.5 µmまでの高精度位置決めによる信頼性の高い一貫した結果 - 最大2 m/s2で微小サンプルのスループット時間を加速（特に頻繁なスタート-ストップフェーズが必要な場合 - エアベアリングによる低メンテナンスとフレキシブルな24時間365日稼動（パラメータ可変時 Z軸上のカスタマイズされた処理ヘッドまたはセンサーは、試料キャリア上を非常に高速で移動します。最大600 ...

繰返し精度: 0.2 µm - 2.5 µm
積載量: 25 kg
ストローク: 200 mm - 700 mm

... 3D自動化用XYZガントリー・システム カスタマイズ可能 - 700 x 700 x 200 mmの大型移動により、自動化されたハイスループット・アプリケーションに最適 - 最大1000 mm/sの高速移動により、高ダイナミックで高速なサンプル処理が可能 - 繰り返し精度0.3 µmまでの高精度位置決め - 高い再現性と分解能を実現する優れた安定性 この3軸位置決めシステムは、様々なアプリケーションの生産・検査工程に柔軟に対応することができます。Z軸上のカスタマイズされた加工ヘッドまたは測定ヘッドは、サンプルキャリアの頭上を移動します。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.3 µm - 0.4 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 200 mm - 1,000 mm

... 検査用XYZガントリー カスタマイズ可能 - 最大450 x 1000 x 1000 mmの大型部品の高精度検査に最適 - 極めて高い剛性により、ナノメートル領域の分解能を実現 - お客様固有の顕微鏡、カメラ、センサーに個別に対応 - 最高速度2420 mm/sの卓越した高スループット - 可変パラメータ下でのエアベアリングによる低メンテナンスとフレキシブルな24時間365日稼動 このXYZ位置決めシステムは、450 x 1000 x 1000 mmを超える大型で高さのあるサンプルの高精度測定に適しています。Z軸に特注の顕微鏡、カメラ、センサーを取り付け、XYZオーバーヘッド動作でサンプルを測定することができます。これにより、ナノメートル領域での高解像度イメージングが可能になるほか、2Dおよび3Dイメージング用の数多くの測定機能を備えている。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.4 µm - 0.5 µm
ストローク: 100 mm - 700 mm
速度: 470 mm/s - 2,000 mm/s

... XYZ多軸ガントリーシステム カスタマイズ可能 - インライン品質管理、高速ピックアンドプレース、複合アプリケーションに最適 - クロスヘッドに自由に設定可能な3軸を装備し、あらゆるオーバーヘッドアプリケーションに対応 - 500 x 700 x 100 mmの移動量による高スループット、1000 mmまで拡張可能 - 0.4 µmまでの卓越した高い繰り返し精度 - ガントリー軸とクロスヘッド間の非カップリングにより、モーターエンコーダによる容易な制御と過決定を回避 このオーバーヘッドアプリケーション用の多用途適応ガントリーは、PLTシリーズの標準ステージから軸数、サイズ、駆動を自由に構成することができます。3つ以上のお客様固有の処理ヘッド、カメラ、センサーなどを強化されたトラバースに適合させることができます。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.7 µm - 1 µm
積載量: max 15.0 kg
ストローク: 200 mm - 1,300 mm

... 非常にダイナミックなレーザーアプリケーションのためのXYZガントリー カスタマイズ可能 - 高精度でダイナミックなアプリケーションに最適（例：レーザー接合、医療技術におけるレーザーマイクロアプリケーションなど - 800 x 1300 x 200 mmの非常に広い移動範囲 - 繰り返し精度0.8 µmまでの高精度位置決めによる信頼性と一貫した品質 - 一体型リニアモーターにより、高加速度・高速度と高精度を同時に保証 このガントリーは、1300 x 800 mmの領域で非常にダイナミックな動作を可能にします。Z軸のカスタム加工ヘッドまたはセンサーは、御影石上のキャリア上を素早く連続的に移動します。プロファイルレールガイドは花崗岩に直接取り付けられ、サブミクロンの再現性の高い結果を得るための最適な走行特性を提供します。ガントリー設計により、サイクルラインへの統合や、複数のポータルを並べることが容易になります。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.2 µm - 2 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 10 mm - 600 mm

... XY-2Z 4軸ガントリー（絞り付き カスタマイズ可能 - 連続動作でのスポット差分高さ測定に最適 - アパーチャー70 x 100 mm用の両面Zセンサーポジショナー - 振動減衰設計により、1µmまでの繰り返し精度に優れた処理値を実現 - エアベアリングサンプルキャリアによるエミッションの低減 - 優れた寿命とメンテナンスフリーの24時間365日稼動 このXYZガントリー位置決めシステムは、さまざまな計測アプリケーション用に2台のカスタムセンサー/顕微鏡を使用した高精度の両側検査プロセスを可能にします。1つ目のZ軸は固定トラバース上にあり、2つ目のセンサー/顕微鏡はアパーチャ下のZ軸に取り付けられています。エアベアリングサンプルホルダーは、Z軸上の2つのセンサー（それぞれ100mmの高さ調整が可能）により、開口部までXY方向にサンプルを移動させます。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.3 µm - 0.5 µm
速度: 1,210 mm/s - 1,630 mm/s

... カスタマイズ可能 - 大型部品のレーザー加工に最適 - 1630 mm/秒の高精細・高速レーザー加工 - 0.1 µmの超高解像度 - 最大3100 Nの高荷重加工 - 120 m/分以上で最大5Gの超高加速度 - エアベアリング技術による摩耗のない24時間365日の工業運転 このエアベアリングXY位置決めシステムは、大型で重いパネルのレーザー加工用に設計されています。Z軸上のカスタマイズされたレーザーは、材料上を非常に高速で移動します。最大600mmまでの大きな移動量と、オプションで2500mmまで拡張できるため、大量の加工が可能です。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.3 µm - 2.5 µm
速度: 150 mm/s - 750 mm/s

... カスタマイズ可能 - ウェーハ、プローブカード、プリント基板の自動検査に最適 - 最大720 mmの移動で複数の対象物を同時に検査 - 2つのプロセスを同時に統合するのに最適 - 花崗岩構造による迅速なシステム交換により、24時間365日の低メンテナンスと柔軟なメンテナンスコンセプトを実現 この検査システムはクリーンルーム用4軸で構成され、複数の対象物を同時に自動測定できます。高ダイナミクスと最高の再現性を実現します。高解像度カメラまたはセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状を検査し、測定を実行し、特別な品質特性を記録します。 仕様 - ...

繰返し精度: 1 µm
積載量: 10 kg
速度: 0 m/s - 5 m/s

... アルミニウム製ガントリーは、精度と動的応答に関して最も高い要求を満たします。環境条件と動的要件に応じて、両側駆動または片側駆動のガントリーが利用可能です。HIWIN標準では、さまざまなオプションを備えたさまざまなシリーズを提供しています。これらのオプションにより、カスタマイズされたソリューションを開発することも可能です。Z軸には、さまざまな駆動オプション（リニアモーターまたはシャフト）が用意されています。プレハブ図面と3Dモデルは、ウェブサイトでご覧いただけます。 ...

... 異なるリニアモータ軸を使用した XY および XZ システム XY および XZ システムは、標準的なリニアモータ軸を使用して構築さ れ、さまざまなオートメーションアプリケーションで使用されるモーショ ン制御システムです。これらのシステムは、リニアモーター軸の向きによって動きが容易になるため、このような名前が付けられています。シナドリブスの標準モジュールを組み合わせることで、あらゆるご要望にお応えするオーダーメイドシステムを構築することができます： ...

... 異なるリニアモーター軸の組み合わせによるXYZガントリー・システム XYZガントリーシステムは、産業オートメーションで一般的に使用されるモーションコントロールソリューションです。これらのシステムは、3つの空間軸でモーションを制御できることから名付けられました：X（水平）、Y（垂直）、Z（奥行きまたは高さ）です。ガントリー」という用語は、これらの軸に沿った機構の動きをサポートし、可能にする構造を指します。標準的なリニアモジュールを組み合わせることで、これらのタイプのアプリケーションに適したソリューションを実現できます。 ...

... 同じ直線軸上に異なるキャリッジを持つソリューション 同じ直線軸上に異なるキャリッジを持つシステムは、単一の軸に沿って複数の動きや機能を可能にするように設計された機械とオートメーション構成です。これらのシステムは、同じ生産ラインまたは単一のワークフロー内で、さまざまな同時または連続操作を実行する必要があるアプリケーションで特に役立ちます。 ...

繰返し精度: 3 µm
速度: 1 m/s

... エアベアリング付き多軸システム エアベアリング搭載X-Yリニアモータステージシステムによる特別プロジェクトの製品情報 エアベアリング2リニアモータステージシステム： ベアリング：X軸とZ軸にエアベアリング 基本構造: 地盤鋼 ピークフォースX軸：16800N、Z軸：9840N 測定システム -繰り返し精度：±0.5μm -分解能：100nm mit 安全性 最大加速度130 m/s2 ...

ストローク: 100, 200, 300 mm

... 製薬業界の自動化生産ラインのモジュラーセットアップや拡張に適したXYZ位置決めシステムです。 Z軸に搭載されたお客様専用のプリントヘッドは、300 x 200 mmの範囲のキャリア上を最大1000 mm/sで非常に高速に移動します。レイヤービルドアップ、微粒子の印刷、ジェット機による製造など、さまざまな製造技術に柔軟に対応します。サブミクロンの精度で、薬剤の空間構造を高精度に印刷し、即時または遅延の薬剤製剤やその他のカスタマイズされた組み合わせ製剤を製造することができます。 フレキシブルで自動化された24時間365日の生産に最適 - ...

繰返し精度: 0.3, 0.5 mm
ストローク: 100, 820 mm
速度: 150, 750 mm/s

... クリーンルーム用4軸で構成され、複数の対象物を同時に自動測定できる検査装置です。高いダイナミクスと最高の再現性を実現します。高解像度のカメラやセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状の検査、測定、特別な品質特性の記録を行います。 自動化された低メンテナンスの24時間365日検査 - ウェハー、プローブカード、プリント基板などの自動検査に最適です。 - 最大720mmまでの移動により、複数の対象物を同時に検査することが可能 - 2つのプロセスを同時に統合する場合に最適 - ...

ストローク: 200, 700 mm
速度: 50, 500 mm/s

... 半導体用XYZ検査ガントリー｜XYリニアモータ、プロファイルレール｜Zボールネジ、ACサーボ｜検査・顕微鏡｜株式会社 日阪製作所 半導体の高精度自動3次元検査装置 高解像度カメラやセンサーをZ軸上でターゲット上を移動させる3軸位置決めシステムです。リニアダイレクトドライブ搭載のLA250直線軸をベースに、高速・高加速度を高精度かつ非常に優れた再現性で実現します。垂直方向の位置決めには、強力なACサーボモーターを搭載した高精度PLT165-ACリニアステージを使用し、その精密ボールねじを駆動させます。重量のあるセンサーでも高い可搬質量を実現しています。 ...

... 12インチウェーハ、プリント基板に最適なXYZ Phi検査装置（クリーンルームISO 2） - 検査・顕微鏡 クリーンルーム対応ユニバーサル4軸グラナイトガントリー このXYZ Phi位置決めシステムは、クリーンルームISO 2までの半導体および電子機器製造における様々なテストおよび検査工程に使用することができます。XYで320 x 320 mmまで移動できる設計のため、12インチまでのすべての標準的なウェハサイズに適しています。リニアモータ駆動のKT405-320-EDLMメカニカルステージを使用して、Z軸方向にレーザー、センサ、カメラなどを高精度に操作することができます。センサーやカメラの上下移動は、PMT160-050-DC-R/L精密測定ステージで調整します（オプションでスイベルユニットを追加可能）。 要求の厳しいクリーンルームで高精度な検査を実現 - ...

速度: 130, 330 mm/s

... マイクロタイターウェルのハイスループット・スクリーニング用XY-Z位置決めシステム（クリーンルーム）｜医薬品試験、ライフサイエンス試験等の高精度な測定が可能です。 - ラボラトリー／アナリティクス 高精度なスクリーニングタスクのための大型透過式位置決めシステム 大口径で両面からの測定や透過光による測定が可能な高精度XY-Z位置決めシステムです。Z方向には、カスタマイズした顕微鏡やカメラ、センサーを取り付けることができます。マイクロタイターウェルプレートをXYステージKDT600-EDML上でZ軸方向に移動させます。400mmの大型透過光の上に350mmの移動距離で最大12枚のウェルプレートを配置することができます。サンプルを下から透過照明で照らすことで、バイオ反応の完璧なスクリーニングを実現します。 ...

... XZ-Phiシステム｜Xリニアモーター、ボールネジ｜Z DCモーター、クロスローラー｜Phiトルクモーター リニア軸と回転ステージによる高精度な測定システム 高精度で耐久性の高い標準軸（PMT160-300-EDLM、MT130-50-DC、DT170-TM）を組み合わせ、高精度な測定セットアップを可能にするX-Z-Phi多軸位置決めシステムです。水平移動の場合、PMT160-300-EDLMは、サブマイクロメータレンジの最小ステップサイズと高速な位置決めを可能にします。リニアスケールの精度を最大限に引き出すために、リニアスケールは測定する距離と一直線上に配置されています（アッベのコンパレータの原理）。リニアスケールは、テーブルとは別に、回転テーブルの前方、測定する部品の高さに放射状に設置されます。 ...

... XYZユニバーサルガントリー｜XYリニアモータ、エアベアリング｜Zボールネジ、DCモータ、クロスローラ｜最大600×600mmまで移動可能です。 ユニバーサルXYZ位置決めシステムは、頭上の精密な位置決め作業に最適です。 Z軸上のカスタマイズされた加工ヘッドまたはセンサーは、試料キャリアの上を非常に高速に移動します。最大600mmという大きな移動距離により、大量の加工や検査が可能です。ガントリーの設計により、サイクルラインへの組み込みや複数台のガントリーの並べ替えも容易に実現できます。 ...

... 3次元オートメーション用XYZガントリー｜XYリニアモータ、プロファイルレール｜Zボールネジ、ACサーボ 高精度、ユニバーサルな3Dオーバーヘッドアプリケーション さまざまなアプリケーションの生産・検査工程に柔軟に対応する3軸位置決めシステムです。Z軸に搭載されたカスタマイズされた加工・測定ヘッドは、サンプルキャリアの上をオーバーヘッドで移動します。リニアダイレクトドライブLA250をベースに、高速・高加速度・高精度・高再現性を実現したシステムです。垂直方向の位置決めには、強力なACサーボモーターを搭載した高精度PLT165-ACリニアステージを使用し、その精密ボールねじを駆動します。 強力な自動化アプリケーションに最適化 ...

... 最大450×1000×1000 mmの大型部品検査用XYZガントリー｜XYリニアモーター、エアベアリング｜Zボールネジ、DCモーター 大型・高さのあるパーツの超精密測定 450×1000×1000mmを超える大型・高さのあるサンプルの高精度測定に適したXYZ位置決め装置です。Z軸に顕微鏡、カメラ、センサーを取り付け、XYZ俯瞰移動で測定することができます。これにより、ナノメートル領域での高解像度イメージングや、2D・3Dイメージングに対応した数々の測定機能を実現しました。 ...

... 適応多軸ガントリーシステム｜XYリニアモーター、プロファイルレール｜Zボールネジ、ACサーボ 高速多軸ガントリーシステム PLTシリーズの標準ステージから軸数、サイズ、駆動を自由に設定できる汎用性の高いオーバーヘッド用アダプティブガントリーです。3つ以上のお客様専用の加工ヘッド、カメラ、センサーなどを強化されたトラバースに適応させることが可能です。 柔軟で自動化された24時間365日のオペレーション - 統合されたインライン品質管理、高速ピックアンドプレース作業、複合アプリケーションに最適 ...