DCモーター配置システム

繰返し精度: 0.5 µm
積載量: 0 g - 5,000 g
ストローク: 10 mm

... MAUKAは、サブミクロンの分解能で最大5kgのペイロードを位置決めするために設計されたコンパクトなヘキサポッドです。 MAUKAヘキサポッドの移動範囲は、XとYで10mm、Zで20mm、3回転で16°です。直径は107mmで、中間位置での高さは198mmです。 直径を最小にするため、モーターを一列に取り付けたヘキサグライド形状を採用した。 MAUKAヘキサポッドは、垂直、水平、その他どの方向にも動作します。停電後も元に戻りません。 アブソリュートリニアエンコーダのおかげで、コントローラの電源を入れるたびに原点復帰コマンドを実行する必要はありません。 ...

繰返し精度: 0.08 µm
積載量: 1,000,000 g

... SYMETRIEは、フィージビリティスタディからメンテナンスまで、計算、モータリゼーション、校正、ソフトウェアのスキルを駆使して、精密位置決め、計測、力学の知識を必要とするお客様の特定のプロジェクトに合わせたソリューションを提供します。 お客様の仕様に基づき、設計オフィスのエンジニアが革新的で費用対効果の高い多軸ソリューションを考案します。 プロジェクトの全過程を通じて、当社のチームがすべてのステップを管理し、高品質のフォローアップを提供します。 ...

繰返し精度: 0.5 µm - 2 µm
ストローク: 100 mm - 600 mm
速度: 25 mm/s - 200 mm/s

... XYZユニバーサル ガントリー カスタマイズ可能 - 高精度で汎用的なオーバーヘッド動作に最適 - 600 x 600 x 100 mmの非常に大きな移動範囲 - 繰り返し精度0.5 µmまでの高精度位置決めによる信頼性の高い一貫した結果 - 最大2 m/s2で微小サンプルのスループット時間を加速（特に頻繁なスタート-ストップフェーズが必要な場合 - エアベアリングによる低メンテナンスとフレキシブルな24時間365日稼動（パラメータ可変時 Z軸上のカスタマイズされた処理ヘッドまたはセンサーは、試料キャリア上を非常に高速で移動します。最大600 ...

繰返し精度: 0.3 µm - 0.4 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 200 mm - 1,000 mm

... 検査用XYZガントリー カスタマイズ可能 - 最大450 x 1000 x 1000 mmの大型部品の高精度検査に最適 - 極めて高い剛性により、ナノメートル領域の分解能を実現 - お客様固有の顕微鏡、カメラ、センサーに個別に対応 - 最高速度2420 mm/sの卓越した高スループット - 可変パラメータ下でのエアベアリングによる低メンテナンスとフレキシブルな24時間365日稼動 このXYZ位置決めシステムは、450 x 1000 x 1000 mmを超える大型で高さのあるサンプルの高精度測定に適しています。Z軸に特注の顕微鏡、カメラ、センサーを取り付け、XYZオーバーヘッド動作でサンプルを測定することができます。これにより、ナノメートル領域での高解像度イメージングが可能になるほか、2Dおよび3Dイメージング用の数多くの測定機能を備えている。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.2 µm - 2 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 10 mm - 600 mm

... XY-2Z 4軸ガントリー（絞り付き カスタマイズ可能 - 連続動作でのスポット差分高さ測定に最適 - アパーチャー70 x 100 mm用の両面Zセンサーポジショナー - 振動減衰設計により、1µmまでの繰り返し精度に優れた処理値を実現 - エアベアリングサンプルキャリアによるエミッションの低減 - 優れた寿命とメンテナンスフリーの24時間365日稼動 このXYZガントリー位置決めシステムは、さまざまな計測アプリケーション用に2台のカスタムセンサー/顕微鏡を使用した高精度の両側検査プロセスを可能にします。1つ目のZ軸は固定トラバース上にあり、2つ目のセンサー/顕微鏡はアパーチャ下のZ軸に取り付けられています。エアベアリングサンプルホルダーは、Z軸上の2つのセンサー（それぞれ100mmの高さ調整が可能）により、開口部までXY方向にサンプルを移動させます。 仕様 - ...

... 異なるリニアモータ軸を使用した XY および XZ システム XY および XZ システムは、標準的なリニアモータ軸を使用して構築さ れ、さまざまなオートメーションアプリケーションで使用されるモーショ ン制御システムです。これらのシステムは、リニアモーター軸の向きによって動きが容易になるため、このような名前が付けられています。シナドリブスの標準モジュールを組み合わせることで、あらゆるご要望にお応えするオーダーメイドシステムを構築することができます： ...

繰返し精度: 1.5, 5.5 µm
ストローク: 76 mm
速度: 50 mm/s

... 最小限の施工スペースで歩留まり最大化 EUV露光機の小型化・自動化のための補完的な偏光フィルターとして開発された高精度位置決め装置です。約120×180×31mmという非常に限られたスペースで、既存のウェーハステッパーの露光品質と歩留まりを最大化します。EUVや乾燥・無酸素の純窒素雰囲気など、過酷な環境下での高解像度プロセスにも対応します。 過酷な環境下での精度を最適化 - EUV自動露光装置における小型化に最適 - 最小のスペース（約120×180×31mm）で、既存のウェーハステッパーシステムの歩留まりと解像度を最大化 - ...

繰返し精度: 1.5, 2.5 µm
ストローク: 50, 150 mm
速度: 25 mm/s

... UV露光マスクのXYシータアライメント｜ドライ窒素雰囲気下でのウェーハ露光用高精度位置決め装置 精密組立品 786001:002.26 UV露光マスクのXYθアライメント｜乾燥窒素雰囲気下でのウェハ露光用高精度位置決めシステム - 精密組立品 過酷な条件下での微細構造形成のためのµmアライメント UV露光用マスクの高精度アライメント用に特別に開発された3軸マスクシステムです。X軸2本、Y軸1本の計3本のリニア軸を持ち、垂直方向のストローク（等速運動）と回転（逆速運動）の両方を発生させるパラレルキネマティックデザインを採用しています。これにより、紫外線照射下および超乾燥窒素雰囲気下において、ナノメートル領域での高精度な直線および回転位置決めを実現しました。 ...

繰返し精度: 1.5, 2.5 µm

... ウェーハステッパー用レンズの高精度調整を実現するダブルXY直動軸｜クリーンルームでの超微細UV露光 - 精密アセンブリ 2つの光学系を高精度に調整 ウェーハステッパー用に特別に開発された高精度なダブル直動軸です。UV露光の際、より微細な構造を実現するために、2つのレンズを相対的に、また一緒に位置決めする必要があります。このソリューションは、共通のガイドシステム上の2つのスライド軸で構成されています。2つの移動スライドキャリッジはそれぞれ3つのキャリッジを持ち、レンズをできるだけ接近させるために、互いの中で部分的に移動することができます。 極度に乾燥した環境下での超微細画像処理 - ...

繰返し精度: 0.6, 1 µm
ストローク: 10 mm
速度: 25 mm/s

... 縦方向に高精度で速いショートムーブメント この高精度位置決めシステムは、費用対効果の高い接触型3Dプリントプロセスのために特別に設計されています。プリントヘッドはボイスコイルで作動するため、プリントプロセス中、サンプルはキャリアとの距離を最小限に抑えながら、非常にダイナミックかつ高精度に位置決めされます。このため、粘度に関係なく、極めて高速な動きをするキャリア上で、最小のメディアを高精度に、かつダメージを与えることなく位置決めすることが可能です。ほぼアッベ配列のリニア測定システムにより、必要に応じて1μm以上の繰り返し精度を実現します。 ...

... 12インチウェーハ、プリント基板に最適なXYZ Phi検査装置（クリーンルームISO 2） - 検査・顕微鏡 クリーンルーム対応ユニバーサル4軸グラナイトガントリー このXYZ Phi位置決めシステムは、クリーンルームISO 2までの半導体および電子機器製造における様々なテストおよび検査工程に使用することができます。XYで320 x 320 mmまで移動できる設計のため、12インチまでのすべての標準的なウェハサイズに適しています。リニアモータ駆動のKT405-320-EDLMメカニカルステージを使用して、Z軸方向にレーザー、センサ、カメラなどを高精度に操作することができます。センサーやカメラの上下移動は、PMT160-050-DC-R/L精密測定ステージで調整します（オプションでスイベルユニットを追加可能）。 要求の厳しいクリーンルームで高精度な検査を実現 - ...

速度: 30 mm/s

... 多彩な測定作業を可能にする高精度検査装置 この3軸位置決めシステムは、ステージがZ軸上のセンサーまたはカメラに測定対象物を移動させる高精度な計測アプリケーションのために設計されています。xyステージは、DCモーター設計の信頼性の高いKT310で構成されています。内部モーター、クロスローラーガイド、高精度ボールネジを採用したコンセプトにより、優れた精度と設置スペースの最適化を実現します。 高精度で安定した測定結果 - 自動試料検査に最適 - 0.3 µmまでの高精度な繰り返し精度 - 測定偏差を3 ...

... XZ-Phiシステム｜Xリニアモーター、ボールネジ｜Z DCモーター、クロスローラー｜Phiトルクモーター リニア軸と回転ステージによる高精度な測定システム 高精度で耐久性の高い標準軸（PMT160-300-EDLM、MT130-50-DC、DT170-TM）を組み合わせ、高精度な測定セットアップを可能にするX-Z-Phi多軸位置決めシステムです。水平移動の場合、PMT160-300-EDLMは、サブマイクロメータレンジの最小ステップサイズと高速な位置決めを可能にします。リニアスケールの精度を最大限に引き出すために、リニアスケールは測定する距離と一直線上に配置されています（アッベのコンパレータの原理）。リニアスケールは、テーブルとは別に、回転テーブルの前方、測定する部品の高さに放射状に設置されます。 ...

... 最大450×1000×1000 mmの大型部品検査用XYZガントリー｜XYリニアモーター、エアベアリング｜Zボールネジ、DCモーター 大型・高さのあるパーツの超精密測定 450×1000×1000mmを超える大型・高さのあるサンプルの高精度測定に適したXYZ位置決め装置です。Z軸に顕微鏡、カメラ、センサーを取り付け、XYZ俯瞰移動で測定することができます。これにより、ナノメートル領域での高解像度イメージングや、2D・3Dイメージングに対応した数々の測定機能を実現しました。 各プロセスに柔軟に対応 ...

繰返し精度: 0.3 mm

... 可変荷重・移動体用XYZ測定システム｜XYZボールねじ、クロスローラー、DCモーター、リニア測定システム 変動荷重でも高精度な測定が可能 このXYZ位置決めシステムは、変動荷重や移動する物体の高精度測定に特化して設計されています。重量クラスの異なる測定物を次々に測定しなければならない場合、従来の測定ステージではすぐに限界に達してしまいます。このXYZ測定システムは、この問題を解決するソリューションを提供します。 最大30kgまでのサンプルに対応する完璧な平面度および真直度 - 高さのある部品の測定や3Dプロファイルの取得に最適 ...

... X 光学レンズ、シリンダーの位置決め用ファイシステム 例：スタイラスゲージ｜X DCモーター、ボールねじ、クロスローラー、リニア測定システム｜ファイ ACサーボ、角度測定システム 優れた安定性で高解像度を実現 このX-Phi位置決めシステムは、高精度で耐久性のある標準軸のPMT160リニアステージと、回転用のDTS130-HMで構成されています。試料を測定位置に正確に移動させるため、追加の送り軸を必要としない測定アプリケーションに最適です。 高精度で信頼性の高い測定結果 - ウェハーや光学部品など、円形部品の光学測定に最適 ...