高速配置システム

... Lexium MAX製品ファミリーは、2軸、リニアポジショナー、最大3次元動作のポータルロボットで構成されています。 Lexium MAXの軸は、高い動的応答で長いストロークでの重量物の位置決めを必要とするアプリケーションにソリューションを提供することができます。モーション中心の幅広い機械向けに設計されています。単軸機から高性能多軸機まで、Lexiumシリーズは、パッケージングやマテリアルハンドリングにおける高速移動と精密な位置決めを可能にします。 Lexium MAXの概要 Lexium ...

繰返し精度: 1 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 200 mm - 1,000 mm

... 高度にダイナミックなアプリケーションに対応するXYZガントリー カスタマイズ可能 - 高精度かつダイナミックなアプリケーションに最適 - 1300 x 800 mmの非常に広い移動範囲 - 高加速度・高速度と高精度の両立 このガントリーは、1300 x 800 mmの領域で、非常にダイナミックな動きを可能にします。カスタマイズされた加工ヘッドやZ軸のセンサーは、グラナイト上のキャリア上を素早く、スムーズに移動します。プロファイルされたレールガイドは、花崗岩に直接取り付けられており、サブミクロンの再現性の高い結果を得るために最適な走行特性を提供します。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.005 µm - 4.4 µm
積載量: 5 kg - 25 kg
ストローク: 100 mm - 365 mm

... 8軸位置決めシステム / ゴニオメーター カスタマイズ可能 - 様々な角度から8軸の検査を自動化 - カメラ/センサー/照明を共通の中心点を中心に旋回させる同軸回転システム - ディスプレイの検査に最適 8軸の位置決めシステムにより、さまざまな形状のサンプルや部品の分析・検査が可能です。カメラ／センサーは、試料を挟んで傾けたり、高さを調整したりすることが可能です。また、サンプルキャリアを測定面に対して平行に傾けることで、サンプルの個体差を補正することが可能です。XY Rzポジショニングにより、カスタムカメラによる空間放射パターンのあらゆる角度からサンプルを評価することができます。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.5 µm - 2 µm
ストローク: 100 mm - 600 mm
速度: 25 mm/s - 200 mm/s

... XYZユニバーサル ガントリー カスタマイズ可能 - 高精度で汎用的なオーバーヘッド動作に最適 - 600 x 600 x 100 mmの非常に大きな移動範囲 - 繰り返し精度0.5 µmまでの高精度位置決めによる信頼性の高い一貫した結果 - 最大2 m/s2で微小サンプルのスループット時間を加速（特に頻繁なスタート-ストップフェーズが必要な場合 - エアベアリングによる低メンテナンスとフレキシブルな24時間365日稼動（パラメータ可変時 Z軸上のカスタマイズされた処理ヘッドまたはセンサーは、試料キャリア上を非常に高速で移動します。最大600 ...

繰返し精度: 0.2 µm - 2.5 µm
積載量: 25 kg
ストローク: 200 mm - 700 mm

... 3D自動化用XYZガントリー・システム カスタマイズ可能 - 700 x 700 x 200 mmの大型移動により、自動化されたハイスループット・アプリケーションに最適 - 最大1000 mm/sの高速移動により、高ダイナミックで高速なサンプル処理が可能 - 繰り返し精度0.3 µmまでの高精度位置決め - 高い再現性と分解能を実現する優れた安定性 この3軸位置決めシステムは、様々なアプリケーションの生産・検査工程に柔軟に対応することができます。Z軸上のカスタマイズされた加工ヘッドまたは測定ヘッドは、サンプルキャリアの頭上を移動します。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.3 µm - 0.4 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 200 mm - 1,000 mm

... 検査用XYZガントリー カスタマイズ可能 - 最大450 x 1000 x 1000 mmの大型部品の高精度検査に最適 - 極めて高い剛性により、ナノメートル領域の分解能を実現 - お客様固有の顕微鏡、カメラ、センサーに個別に対応 - 最高速度2420 mm/sの卓越した高スループット - 可変パラメータ下でのエアベアリングによる低メンテナンスとフレキシブルな24時間365日稼動 このXYZ位置決めシステムは、450 x 1000 x 1000 mmを超える大型で高さのあるサンプルの高精度測定に適しています。Z軸に特注の顕微鏡、カメラ、センサーを取り付け、XYZオーバーヘッド動作でサンプルを測定することができます。これにより、ナノメートル領域での高解像度イメージングが可能になるほか、2Dおよび3Dイメージング用の数多くの測定機能を備えている。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.4 µm - 0.5 µm
ストローク: 100 mm - 700 mm
速度: 470 mm/s - 2,000 mm/s

... XYZ多軸ガントリーシステム カスタマイズ可能 - インライン品質管理、高速ピックアンドプレース、複合アプリケーションに最適 - クロスヘッドに自由に設定可能な3軸を装備し、あらゆるオーバーヘッドアプリケーションに対応 - 500 x 700 x 100 mmの移動量による高スループット、1000 mmまで拡張可能 - 0.4 µmまでの卓越した高い繰り返し精度 - ガントリー軸とクロスヘッド間の非カップリングにより、モーターエンコーダによる容易な制御と過決定を回避 このオーバーヘッドアプリケーション用の多用途適応ガントリーは、PLTシリーズの標準ステージから軸数、サイズ、駆動を自由に構成することができます。3つ以上のお客様固有の処理ヘッド、カメラ、センサーなどを強化されたトラバースに適合させることができます。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.7 µm - 1 µm
積載量: max 15.0 kg
ストローク: 200 mm - 1,300 mm

... 非常にダイナミックなレーザーアプリケーションのためのXYZガントリー カスタマイズ可能 - 高精度でダイナミックなアプリケーションに最適（例：レーザー接合、医療技術におけるレーザーマイクロアプリケーションなど - 800 x 1300 x 200 mmの非常に広い移動範囲 - 繰り返し精度0.8 µmまでの高精度位置決めによる信頼性と一貫した品質 - 一体型リニアモーターにより、高加速度・高速度と高精度を同時に保証 このガントリーは、1300 x 800 mmの領域で非常にダイナミックな動作を可能にします。Z軸のカスタム加工ヘッドまたはセンサーは、御影石上のキャリア上を素早く連続的に移動します。プロファイルレールガイドは花崗岩に直接取り付けられ、サブミクロンの再現性の高い結果を得るための最適な走行特性を提供します。ガントリー設計により、サイクルラインへの統合や、複数のポータルを並べることが容易になります。 仕様 - ...

繰返し精度: 2.5 µm - 6.5 µm
ストローク: 50 µm - 275 µm
速度: 30 mm/s - 50 mm/s

... ウェハ検査、顕微鏡用XYZ AFMガントリー カスタマイズ可能 - 振動の影響を受けない高剛性・高精度な測定に最適 - 150 x 275 x 50 mmの移動量による高いスループット、550 x 1550 x 50 mmまで拡張可能 - 静止状態で5nm以上の極めて高い安定性 - 磨耗のないエアベアリングの使用による卓越した長寿命 この高剛性XYZガントリーは、特に大きなガラス試料の高精度原子間力顕微鏡（AFM）検査用に特別に設計されています。U字型の試料台の上には、カスタマイズされたAFM用にZ方向に可動するカンチレバーがあります。 仕様 - ...

... - 比類のない運動周波数 - 最大10年の耐用年数 - 温度安定性 - コンパクト設計 ショートストロークリニアモーターシステムは、高周波パンチフィーダーからプリント基板穴あけ機まで、幅広い用途に対応します。また、振動試験機や高速エジェクタ（a > 145m/s²）などの用途も、ショートストロークリニアモータシステムでカバーできます。 ガイドシステムにかかる片側荷重は、特に難しい課題です。当社の専門知識により、このような用途でも長寿命を実現します。 可動質量、可能な限り短い移動範囲、サイクル定義などの通常の顧客要件に加え、さらなる特性を考慮する必要がありました。例えば、以下のようなものがあります： - ...

... - 超ダイナミックモーション - 圧倒的な位置決め精度 - 高いシステム剛性 - 低発塵 高速リニアモータシステムは、優れた生産性とプロセスの信頼性を実現するために、半導体製造装置の送り軸として開発されました。 可動質量、移動範囲、サイクル定義などの通常の顧客要件に加え、さらなる特性を考慮する必要がありました。例えば、以下のようなものです： - 非常にコンパクトな設計 - 比類のない同期品質（コギング） - メンテナンスが不要 - 迅速な試運転 - 絶対位置フィードバック - カスタマイズされたケーブルに対応するケーブルマネージメント 高速リニアモーターシステムは、高い位置決め精度を必要とする用途向けに特別に開発されました。個々の要件に合わせて、スライドとベースプレートの穴あけパターンをカスタマイズできます。さらに、このシステムはクリーンルーム対応バージョンで設計されており、機密性の高い環境での使用が可能です。初期立上げを容易にするため、迅速で効率的な立上げを可能にするパラメータセットが提供されます。 - ...