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... 科学や産業における多くのアプリケーションでは、サンプルや部品の位置決めに2自由度以上の自由度が必要とされます。極低温で限られたスペースであっても、ペイロードは最高の精度で移動させる必要があります。 SmarActs社の極低温位置決めシステムは、モジュール式で、高精度、カスタマイズ可能で、位置決めやスキャン作業中もサンプルを可能な限り低温に保つよう熱管理されています。 XYZ位置決めシステムの中心的なコンポーネントはリニアステージです。この例では、SLC-1720-CRを使用しています。3つのステージは、ホルダーやアダプタープレートと簡単に組み合わせてコンパクトな多軸セットアップを形成することができ、通常は顧客のセットアップでクライオスタットのコールドフィンガーに接続されます。 極低温で正確に動作する必要がある高分解能位置決めシステムを設計する場合、ステージと取り付け部品の熱膨張による位置決めシステムの温度クリープを減らすために、ステージからの熱負荷をできるだけ早くクライオスタットに確実に伝達することが重要です。 最も重要な課題は、ペイロードからの熱を取り付けベースプレートに伝達し、作用点での一定した低温を確保することです。 用途に応じて、クライオスタットへの最適な熱伝達を確保するためのさまざまな設計の熱処理装置があります。以下に3つの異なるセットアップを例として示します。その他のセットアップや設計も可能で、ご要望に応じて実現できます。 ...
繰返し精度: 5 µm
積載量: 30 kg
ストローク: 300 mm
... オープンフレームXYステージは、顕微鏡を使用した幅広い自動高精度位置決め用に薄型に設計されています。駆動機構をユニット側面に配置し、光や物体が移動中心を通過できるよう、クリアで邪魔にならない2軸開口部を提供します。 オープンフレーム 300x300 mm XYステージの全ストロークにわたって開口部が確保されています。 モデル - ユニット XY-OF-S300x300-A300x300J XYストローク - mm - 300x300 スクリューリード - 4 mm 開口部 - mm - 300x300 ...
繰返し精度: 1 µm
積載量: 30 kg
ストローク: 300 mm
... オープンフレームXYステージは、顕微鏡をベースとしたアプリケーションにおける幅広い自動高精度位置決め用に薄型に設計されています。駆動機構をユニット側面に配置し、光や物体が移動中心を通過できるよう、遮るもののないクリアな2軸開口部を提供します。 トラベル 300x300 mm ～ $ 600x600 mm ...
繰返し精度: 0.5 µm
積載量: 0 g - 5,000 g
ストローク: 10 mm
... MAUKAは、サブミクロンの分解能で最大5kgのペイロードを位置決めするために設計されたコンパクトなヘキサポッドです。 MAUKAヘキサポッドの移動範囲は、XとYで10mm、Zで20mm、3回転で16°です。直径は107mmで、中間位置での高さは198mmです。 直径を最小にするため、モーターを一列に取り付けたヘキサグライド形状を採用した。 MAUKAヘキサポッドは、垂直、水平、その他どの方向にも動作します。停電後も元に戻りません。 アブソリュートリニアエンコーダのおかげで、コントローラの電源を入れるたびに原点復帰コマンドを実行する必要はありません。 ...
SYMETRIE
繰返し精度: 1 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 200 mm - 1,000 mm
... 高度にダイナミックなアプリケーションに対応するXYZガントリー カスタマイズ可能 - 高精度かつダイナミックなアプリケーションに最適 - 1300 x 800 mmの非常に広い移動範囲 - 高加速度・高速度と高精度の両立 このガントリーは、1300 x 800 mmの領域で、非常にダイナミックな動きを可能にします。カスタマイズされた加工ヘッドやZ軸のセンサーは、グラナイト上のキャリア上を素早く、スムーズに移動します。プロファイルされたレールガイドは、花崗岩に直接取り付けられており、サブミクロンの再現性の高い結果を得るために最適な走行特性を提供します。 仕様 - ...
Steinmeyer Holding GmbH
繰返し精度: 1.5, 5.5 µm
ストローク: 76 mm
速度: 50 mm/s
... 最小限の施工スペースで歩留まり最大化 EUV露光機の小型化・自動化のための補完的な偏光フィルターとして開発された高精度位置決め装置です。約120×180×31mmという非常に限られたスペースで、既存のウェーハステッパーの露光品質と歩留まりを最大化します。EUVや乾燥・無酸素の純窒素雰囲気など、過酷な環境下での高解像度プロセスにも対応します。 過酷な環境下での精度を最適化 - EUV自動露光装置における小型化に最適 - 最小のスペース（約120×180×31mm）で、既存のウェーハステッパーシステムの歩留まりと解像度を最大化 - ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
... モーションコントロールのあらゆるニーズに、高いセンサ技術と優れたシステム技術でお応えします。センサとして環境高剛性シンクロトランスミッタを搭載した各種指示計、変換器により、高精度、高信頼性の位置決めシステムを提供します。あらゆる用途に対応できるよう、豊富な製品群を用意しています。プログラマブルコントローラ、シーケンサなどの上位システムとのダイレクトインターフェースが可能です。また、既存システムとのマッチングや拡張にも対応します。 ...