組合せモジュール配置システム

繰返し精度: 0.02 mm - 0.1 mm
積載量: 3 kg - 120 kg
速度: 100 mm/s - 4,000 mm/s

... 直線運動XYZステージガントリーロボット多軸位置決めガイドシステムベルト駆動アクチュエータ ボールねじモジュール、ベルト駆動リニアガイド、位置決めステージ、直交ロボット用モーションコントローラ。CE、FCC、RoHS、ISO9001認証。 多種多様な即出荷可能製品 10個からの数量割引 カスタムOEMソリューション プログラミングサービス OEMまたはカスタム設計が必要な場合は、こちらをご覧ください - https://www.fuyumotion.com/industry-solution FUYU ...

... XYZステージ 多軸位置決めテーブル リニアガントリーシステム 直交ロボット 技術的特徴 FSL40リニアガイドは、アルミプロファイル、ボディ幅40ミリメートル、高い安定性、コンパクトな構造、汎用性の高い機能、通常の作業環境に適しており、それは、単軸または多軸を使用するのに便利で、さまざまな産業のための簡単な機能的な使用ロボットアームを組み立てる。 応用範囲 正確な位置決め、分注、スプレー塗装、外観検査、移動、つかみ、切断、溶接、自動組立、自動ロックネジ、パレタイジングなど。例えばPCB基板検出、光ディスク積層装置、部品ピック＆プレース。 シリーズFSL40IS-L ストローク範囲50mm-1000mm 位置精度：0.03ミリメートル 最高速度: ...

... シリーズFSK40 ストローク範囲50mm~1000mm 位置の正確さ: 0.03mm 最高速度: 255mm/s 最大負荷: 25キロ ボールねじ：G1204/G1605/G1610 ボールねじモジュール、ベルト駆動リニアガイド、位置決めステージ、直交ロボット用モーションコントローラ。CE、FCC、RoHS、ISO9001認証。 多種多様な即出荷可能製品 10個からの数量割引 カスタムOEMソリューション 付加価値サービス 新しいソース、新しい価格、新しいチャンス。 FUYU ...

繰返し精度: 0.03 mm
積載量: 25 kg
ストローク: 50 mm - 1,000 mm

... シリーズFSK40 ストローク範囲50mm~1000mm 位置の正確さ: 0.03mm 最高速度: 255mm/s 最大負荷: 25キロ ボールねじ：G1204/G1605/G1610 ボールねじモジュール、ベルト駆動リニアガイド、位置決めステージ、直交ロボット用モーションコントローラ。CE、FCC、RoHS、ISO9001認証。 多種多様な即出荷可能製品 10個からの数量割引 カスタムOEMソリューション 付加価値サービス 新しいソース、新しい価格、新しいチャンス。 FUYU ...

繰返し精度: 1 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 200 mm - 1,000 mm

... 高度にダイナミックなアプリケーションに対応するXYZガントリー カスタマイズ可能 - 高精度かつダイナミックなアプリケーションに最適 - 1300 x 800 mmの非常に広い移動範囲 - 高加速度・高速度と高精度の両立 このガントリーは、1300 x 800 mmの領域で、非常にダイナミックな動きを可能にします。カスタマイズされた加工ヘッドやZ軸のセンサーは、グラナイト上のキャリア上を素早く、スムーズに移動します。プロファイルされたレールガイドは、花崗岩に直接取り付けられており、サブミクロンの再現性の高い結果を得るために最適な走行特性を提供します。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.3 µm - 2.5 µm
積載量: 5 kg - 20 kg
ストローク: 100 mm - 720 mm

... 半導体用XYZデュアルインスペクションポータル カスタマイズ可能 - ウェハー/半導体の自動検査に最適 - 各2 x 720 x 720 x 100 mmの非常に大きな移動範囲 - 2つのプロセスを同時に統合することが可能 クリーンルーム用4軸で構成され、複数の対象物を同時に自動計測できる検査システムです。高いダイナミクスと最高の再現性を実現しています。片側1台の高解像度カメラまたはセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状の検査、測定、特別な品質特性の記録を行います。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.005 µm - 4.4 µm
積載量: 5 kg - 25 kg
ストローク: 100 mm - 365 mm

... 8軸位置決めシステム / ゴニオメーター カスタマイズ可能 - 様々な角度から8軸の検査を自動化 - カメラ/センサー/照明を共通の中心点を中心に旋回させる同軸回転システム - ディスプレイの検査に最適 8軸の位置決めシステムにより、さまざまな形状のサンプルや部品の分析・検査が可能です。カメラ／センサーは、試料を挟んで傾けたり、高さを調整したりすることが可能です。また、サンプルキャリアを測定面に対して平行に傾けることで、サンプルの個体差を補正することが可能です。XY ...

繰返し精度: 0.3 µm - 0.4 µm
積載量: max 30.0 kg
ストローク: 100 mm - 200 mm

... 変動荷重・移動荷重用XYZ測定システム カスタマイズ可能 - 部品測定や高さのある部品の3Dプロファイルの取得に最適 - 荷重に左右されない高精度測定（±1 µm、移動物体でも測定可能 - 測定誤差を5 µrad以下に大幅に低減 - 完璧な真直度±0.5 µm、平面度±1 µm - 平坦度に依存しないインターフェースと調整機能 このXYZ位置決めシステムは、変動荷重や移動物体の高精度測定用に特別に設計されています。異なる重量クラスの物体を次々に測定しなければならない場合、従来の測定ステージではすぐに限界に達してしまいます。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.3 µm - 0.5 µm
ストローク: 50 mm - 200 mm
速度: 30 mm/s

... 高精度自動光学検査用XYZ位置決めシステム カスタマイズ可能： - 高精度自動検査プロセスに最適 - 0.3 µmまでの高い繰り返し精度 - 測定誤差を3μm以下に低減 この3軸位置決めシステムは、XYステージがZ軸上のセンサーやカメラに対して極めて低いピッチ誤差とヨー誤差で測定対象物を移動させるような高精度測定アプリケーション向けに開発されました。例えば、高さのある部品の測定や3Dプロファイルの記録などがこれにあたります。 仕様 - 標準システムKT310-DC ...

繰返し精度: 0.3 µm - 0.4 µm
ストローク: 100 mm - 200 mm
速度: 15 mm/s - 25 mm/s

... コントローラー付きXYZシステム カスタマイズ可能： - アプリケーションのセットアップと拡張に最適 - 0.3μmまでの高精度繰り返し精度 - 30mm/sの比較的高速な位置決め速度で、最小のステップと最高の信頼性 - 150Nまでの中荷重を位置決めする±1の完璧な平面度 PMT160 の高精度で耐久性の高い標準直動軸に、独立した Z 軸ユニットを搭載した XY コンビネーションです。この組み合わせは、完璧な平面度、ピッチとヨーの最小公差、スムーズな動作を必要とするすべてのアプリケーションに適しています。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.001 µm - 4.5 µm
ストローク: 50 mm - 360 mm
速度: 50 mm/s - 200 mm/s

... XZ-Phiシステム カスタマイズ可能： - 高精度計測システムのセットアップに最適 - サブマイクロメータ領域で最大0.1 µm / 0.0001°の測定システム分解能 - 0.3 µmまでの高精度繰り返し精度 - 最大0.001°までの微細な回転運動 - 極めて長い耐用年数による低メンテナンス このX-Z-Phi多軸位置決めシステムは、高精度で耐久性の高い標準軸（PMT160-300-EDLM、MT130-50-DC、DT170-TM）で構成されており、これらを理想的に組み合わせることで、高精度測定のセットアップが可能です。水平移動の場合、PMT160-300-EDLMはサブマイクロメートルの最小ステップサイズと高速位置決めを可能にします。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.5 µm - 1.5 µm
ストローク: 50, 150, 300 mm
速度: 25 mm/s

... ラボ用XYZシステムとウェハ検査用XYZシステム カスタマイズ可能： - アプリケーションのセットアップと拡張に最適 - 0.5μmまでの高精度繰り返し精度 - 50mm/sの比較的高速な位置決め速度で、最小のステップと最高の信頼性 - 150Nまでの中荷重の位置決めにおいて±0.5μmの完璧な平面度 PMT160 の高精度で耐久性の高い標準直動軸に、独立した Z 軸ユニットを搭載した XY コンビネーションです。この組み合わせは、完璧な平面度、ピッチとヨーの最小公差、スムーズな動作を必要とするすべてのアプリケーションに適しています。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.4 µm - 2.2 µm
ストローク: 100 mm - 300 mm
速度: 1.12 mm/s - 25 mm/s

... XZ労働・ウエハ技術システム カスタマイズ可能： - アプリケーションのセットアップと拡張に最適 - 0.4μmまでの高精度繰り返し精度 - 50mm/sの比較的高速な位置決め速度での最小ステップと最高の信頼性 - 5kgまでの中荷重を位置決めする±1の完璧な平面度 XZコンビネーションは、PMT160の高精度で耐久性の高い標準直動軸で構成されています。この組み合わせは、完璧な平面度、ピッチとヨーの最小公差、スムーズな動作が要求されるすべてのアプリケーションに適しています。 仕様 - ...

... 多軸モジュールシステム - ガントリー・システムを迅速かつ簡単に導入できます。 RK Rose+Kriegerのモジュラーシステムは、直線型、平面型、三次元型のガントリーを短時間で構築することが可能です。RK DuoLineおよびRK MonoLine軸シリーズが、モジュラーシステムのベースとなります。それぞれのCADデータ、詳細な組み立て説明書、適合する構成部品により、システムのセットアップが容易になります。構成部品には、クランピングバー、システムプレート、ブラケット、ユニバーサルドラッグチェーンホルダー、あらゆるメーカーのサーボモーターやプラネタリギアを接続するためのモーターアダプターが含まれます。 高度な標準化によりコスト削減を実現 システムアングルブラケット、システムプレート、クランピングバー - ...

繰返し精度: 5, 10 µm
積載量: 4 kg - 25 kg
速度: 0.1 m/s - 10 m/s

... Z3TM+は、モーションプラットフォームに対応するモジュールのポートフォリオを拡大します。このモジュールは、4つの独立した自由度、すなわち、拡大されたθ中空シャフト内に組み込まれたチップ、チルト、θおよびZ軸を追加します。1つの構成にはZ軸が含まれ、1つは細軸（FZ）、もう1つは粗軸（CZ）です。設計上、このオプションモジュールは、先端半導体アプリケーション用のウェーハモーションプロファイルの完全な充足を可能にし、OEMにあらゆる半導体技術用のターンキーソリューションを提供します。製品のコンパクトさは、体積あたりの機能数で記録的な密度を確立し、その性能は、ウェーハレベルの精度とダイナミクスの新しい市場基準を打ち立てました。 Z3TM+フレクシャーベースの微細Z軸により、OEMは高価で時代遅れの圧電ソリューションから移行することができ、ヒステリシスの問題を解消しながら、ナノメートルレベルの分解能、精度、再現性をさらに高いダイナミクスでサポートします。適切なサンプルアライメントへの組み込みサポートにより、このモジュールは、追加の「チップ」軸と「チルト」軸によって、装置ヘッドに対するウェーハの平面性をさらに制御することができます。このようなユニークな機能により、ユーザーは、例えば平坦度、公称AOI（Angle ...

... Z3TMは、モーションプラットフォームを提供するモジュールのポートフォリオを拡大しています。 このモジュールは、4つの独立した自由度、すなわち1つの回転軸、1つの垂直軸、および2つの斜軸に沿って追加します。 設計上、このオプションのモジュールは、高度な半導体アプリケーション向けにウェハモーションプロファイルを完全に満たすことができ、OEMメーカーはあらゆる半導体技術向けのターンキーソリューションを提供します。 製品のコンパクトさは、ボリュームあたりの機能数の点で記録的な密度を確立し、その性能はウェハレベルの精度とダイナミクスの新しい市場基準を設定します。 ...

... Z3TH 複合モジュールは、既存のXYプラットフォームの上に置くことができるモジュールの範囲を拡大しています。 4 自由度モジュールZ3THは、364° シータ回転、二重 Z 軸、ウエハのロードとアンロード用の粗いもの、フォーカス調整用の細かいもの、± 0.1° 以上のチップとチルト補正を提供します。 このZ3THモジュールは、ピエゾベースのZアクチュエータに代わる優れた代替品であり、オープンループのヒステリシスや非直線性を排除すると同時に、移動、再現性、および移動時の優れたトラッキング誤差を提供します。 ...

... ZT ボックスは、2 つの自由度 (Z および Theta) を 1 つの単位内に組み合わせたモジュールです。 Z 方向に沿って、粗いものと細かいものの2つの動作が可能です。 このモジュールは、スタンドアロンモードで使用することも、XYプラットフォームの上にマウントすることもできます。 このモジュールは、薄膜測定、臨界寸法などのウエハプロセス制御アプリケーションに特に適しています 特性 -無限の回転 -ウェハチャックレベルでの真空供給を内蔵 -重力補償器を内蔵 -真空によるISO1クリーンルーム互換 ...

速度: 25 mm/s

... ラボ用XYZシステム｜ボールネジ、DCモーター、クロスローラー、リニア計測システム 高精度・モジュール式3軸システム PMT160の高精度で耐久性のある標準的なリニア軸で構成された、独立したZ軸ユニットを備えたXYコンビネーションです。この組み合わせは、完璧な平面度、ピッチとヨーの最小公差、スムーズな動作が要求されるすべての用途に適しています。XYZシステムは、ソフトウェアだけでなく、コントローラーもすぐに使用でき、信頼性の高いパラメータで動作します。 柔軟性があり、即座に使用可能でテスト済み ...

... ラボ用XZシステム｜ボールネジ、DCモーター、クロスローラー、リニア計測システム 高精度・モジュール式3軸システム XZシステムは、PMT160の高精度で耐久性のある標準的なリニア軸で構成されています。この組み合わせは、完璧な平面度、ピッチとヨーの最小公差、スムーズな動作が求められるすべての用途に適しています。XZシステムは、ソフトウェアだけでなく、コントローラーもすぐに使用でき、信頼性の高いパラメータで動作します。 柔軟性があり、即座に運用可能で、テスト済み ...

... 高速3軸UHVシステム LA80-LA90 UV / UHV / EUV、最大移動量500 mm。500 mm移動、2 µm繰り返し精度、5 kg負荷 超高真空での精密・高速・長寿命なアプリケーションに適した高速搬送ステージです。また、非常に低いエミッションと低いパーティクル数により、極端な紫外線下での使用要件にも適合しています。軸のサイズはLA80、LA95、LA170で、垂直動作で最大20kgまでの荷重に対応するよう設計されています。この軸の組み合わせは、Paul ...