3軸配置システム 782300:113.26

XYZ軸リニアウェハー検査および計測学用

ラボ用XYZシステム｜ボールネジ、DCモーター、クロスローラー、リニア計測システム 高精度・モジュール式3軸システム PMT160の高精度で耐久性のある標準的なリニア軸で構成された、独立したZ軸ユニットを備えたXYコンビネーションです。この組み合わせは、完璧な平面度、ピッチとヨーの最小公差、スムーズな動作が要求されるすべての用途に適しています。XYZシステムは、ソフトウェアだけでなく、コントローラーもすぐに使用でき、信頼性の高いパラメータで動作します。 柔軟性があり、即座に使用可能でテスト済み - アプリケーションのセットアップと拡張に最適 - 0.5 μmまでの高精度な繰り返し精度 - 50mm/sの比較的高速な位置決め速度でも、最小のステップと最高の信頼性を実現 - 150Nまでの中荷重の位置決めにおいて、±1%の完璧な平面度 オプションで拡張可能 - 1軸あたり50～300mmの様々な移動量 - DT130またはDT200との組み合わせで回転運動が可能 - 様々なモーターバリエーション。DCモーター、ステッピングモーター、リニアモーター、ナノモーション - 設定済みのコントローラですぐに使用可能（例：ソフトウェア付き - クリーンルームISO 14644-1対応バージョン