STEINMEYERのサンプル準備用配置システム

繰返し精度: 1 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 200 mm - 1,000 mm

... - 駆動方式リニアモーター、プロファイルレール (XY) / ボールネジ、ACサーボ (Z) - フィードバック：リニアスケール - モーションコントローラーFMCシリーズ、ACS、PLC統合 カスタマイズされたオプション - プロセス適合性、サンプルホルダー、ヘッド/センサー - クリーンルームISO 14644-1対応バージョン（ご要望に応じてクラス1まで対応可） - ラック、防振、エンクロージャー、安全コンセプト - ...

繰返し精度: 0.3 µm - 2.5 µm
積載量: 5 kg - 20 kg
ストローク: 100 mm - 720 mm

... 最適 - 各2 x 720 x 720 x 100 mmの非常に大きな移動範囲 - 2つのプロセスを同時に統合することが可能 クリーンルーム用4軸で構成され、複数の対象物を同時に自動計測できる検査システムです。高いダイナミクスと最高の再現性を実現しています。片側1台の高解像度カメラまたはセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状の検査、測定、特別な品質特性の記録を行います。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.4 µm - 0.8 µm
ストローク: 100 mm - 300 mm
速度: 80 mm/s - 630 mm/s

... モーターアイアンレスダイナミックリニアモーター (XYZ) / AC-サーボ、ボールねじ (Z, Z1-5) - フィードバックリニアスケール カスタマイズオプション - モジュラーシステム構成 - 追加のプリントヘッド、カメラ、センサーを統合するために、最大5つの強力なセカンダリZ軸で拡張可能 - Z軸背後のアルミ製プロファイルアセンブリを介した追加センサーやカメラによる品質保証のためのインライン検査 - ...

繰返し精度: 0.4, 0.7 µm
積載量: 28, 10, 0.5 kg
ストローク: 3, 5 mm

... MP700-3 フラット3Dアライナー カスタマイズ可能： - 大型基板、マスク、フレームの高精度アライメントに最適 - 開口部730 x 730 mmの大型サンプルに最適 - 最大0.4 µm/±0.0002°の高繰り返し精度、28 kgまでの荷重に対応 - 990 x 1090 x 225 mmの超フラットデザイン - エアベアリングとダイレクトドライブによる低メンテナンス、低パーティクル このアライナーでは、平面内で±5mmの第2並進運動と±3°の垂直周りの回転が実現されています。R(Phi ...

繰返し精度: 0.2 µm - 0.3 µm
積載量: 500 g
ストローク: 10 mm

... MP53-3 小型XYZ位置決めシステム カスタマイズ可能 - コンパクトなアプリケーションに最適 - サブミクロンレンジの分解能 - 最大5Nの負荷容量 - 高精度位置決めによる信頼性と安定した品質 MP53位置決めシステムは、X、Y、Zモーション用の小型化された3軸システムで、移動範囲は10mmです。ピエゾモータを搭載し、数ナノメートルまでの位置決めが可能です。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.8 µm - 3.8 µm
積載量: 1 kg
ストローク: 25 mm - 25 mm

... MP210-3 XYZ位置決めシステム カスタマイズ可能 - 限られた設置スペースと0～40℃の温度変化に最適 - 最小スペースで最大25 mmの移動範囲 - 絶対位置の安定性（モーターオフ時 - 高い繰返し精度による安定した測定結果 このXYZシステムは、安定性の高い両面入射・透過光測定用の試料ホルダーの位置決めを可能にします。ローディングとフォーカシングは、25 ...