STEINMEYERのクリーンルーム用配置システム

繰返し精度: 1 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 200 mm - 1,000 mm

... 150 N (Z) - 駆動方式リニアモーター、プロファイルレール (XY) / ボールネジ、ACサーボ (Z) - フィードバック：リニアスケール - モーションコントローラーFMCシリーズ、ACS、PLC統合 カスタマイズされたオプション - プロセス適合性、サンプルホルダー、ヘッド/センサー - クリーンルームISO 14644-1対応バージョン（ご要望に応じてクラス1まで対応可） - ...

繰返し精度: 0.3 µm - 2.5 µm
積載量: 5 kg - 20 kg
ストローク: 100 mm - 720 mm

... 半導体用XYZデュアルインスペクションポータル カスタマイズ可能 - ウェハー/半導体の自動検査に最適 - 各2 x 720 x 720 x 100 mmの非常に大きな移動範囲 - 2つのプロセスを同時に統合することが可能 クリーンルーム用4軸で構成され、複数の対象物を同時に自動計測できる検査システムです。高いダイナミクスと最高の再現性を実現しています。片側1台の高解像度カメラまたはセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状の検査、測定、特別な品質特性の記録を行います。 仕様 - ...

繰返し精度: 1.9 µm - 4.4 µm
積載量: 50 kg
ストローク: 100 mm - 1,000 mm

... バキュームチャック付きXXL XYZポータル カスタマイズ可能： - 焦点変動がある自動表面検査に最適 - 50kgまでのサンプル重量に対応（真空ステージを除く） - パッシブ振動減衰と建物振動のデカップリング（VDI 2627による標準測定室品質クラス3） - 1,000,000回のフルサイクルと500,000回のフルサイクルのメンテナンス間隔（2年毎）の非常に長い寿命 この位置決めシステムは、1,000 ...

繰返し精度: 0.4 µm - 0.8 µm
ストローク: 100 mm - 300 mm
速度: 80 mm/s - 630 mm/s

... 3Dプリンティングガントリ（クリーンルーム） カスタマイズ可能 - 高精度で汎用的な積層造形プロセスの3Dプリンティングに最適 - 300 x 200 x 100 mmの移動量による高いスループット、600 x 600 x 100 mmまで拡張可能 - 2つのZ軸により、2つ目のプリントヘッドや品質管理用センサーなど、2つのプロセスを同時に統合可能 - ...

繰返し精度: 10 µm
積載量: 830 g
ストローク: 14 mm

... コントローラ一体型Z-Phiロータリーストロークアクチュエータ（クリーンルームISO 8） カスタマイズ可能： - クリーンルームでの自動生産に最適（調整、ねじ込み、積み重ね、充填、閉鎖など - 最大14 mm x 360°の同期または独立したリニアおよびロータリーモーション（移動範囲は拡張可能） - ...

繰返し精度: 0.001 µm - 3.5 µm
積載量: 6.5 kg
ストローク: 4 mm - 20 mm

... XYZ-θ-Phi-δ位置決めシステム（クリーンルームISO 5） カスタマイズ可能 - 最大300 mm / 12 "までのウェハーおよび光学部品の自動検査に最適 - 2.5μmまたは±0.005°の高い繰り返し精度 - 520 x 600 x 155 mmの卓越した精度、剛性、コンパクト性 - ...