XYZ軸配置システム 782300:179.26

門型半導体産業用クリーンルーム用

バキュームチャック付きXXL XYZポータル カスタマイズ可能： - 焦点変動がある自動表面検査に最適 - 50kgまでのサンプル重量に対応（真空ステージを除く） - パッシブ振動減衰と建物振動のデカップリング（VDI 2627による標準測定室品質クラス3） - 1,000,000回のフルサイクルと500,000回のフルサイクルのメンテナンス間隔（2年毎）の非常に長い寿命 この位置決めシステムは、1,000 x 1,000 mmの領域で真空チャックを移動します。標準システム PMT160-SM は、フォーカス変動に使用されるお客様専用のセンサー用にトラバース軸に固定されています。軸は完全に密閉されており、汚染や干渉を防ぎます。 仕様 - 標準システム：PLT320-SM (XY) / PMT160-SM (Z) - トラベル: 1000 mm (XY) / 100 mm (Z) - 繰り返し精度：± 3.9 - ± 4.4 µm (XY) / ± 1.9 - ± 2.4 µm (Z) - 位置決め速度: 30 mm/s (XY) / 10 mm/s (Z) - 最大荷重490 N (XY) / 40 N (F) / ± 45 N (Z) - モーターステッピングモーター (XYZ) - ガイドボールねじ (XYZ) - ベアリングプロファイルレール (XY) / クロスローラーベアリング (Z) - フィードバックオープンループ (XYZ) - 長さx幅x高さ2250 x 1500 x 1500 mm カスタマイズオプション - 最大0.3 µmの精度を実現するリニアスケール付き - モジュラーシステム構成 - 安全キャビネット - 半導体、バイオテクノロジー、製薬用の特別構成 - クリーンルームISO 14644-1用バージョン（ご要望に応じてクラス1まで対応可能） - サンプルソフトウェアを含む、設定済みコントローラによるすぐに使えるモーションコントロール - 位置決めタスクの3D設計による個別ソリューション開発