XZ配置システム 782300:120.26

リニア研究用光ビーム

XZ-Phiシステム カスタマイズ可能： - 高精度計測システムのセットアップに最適 - サブマイクロメータ領域で最大0.1 µm / 0.0001°の測定システム分解能 - 0.3 µmまでの高精度繰り返し精度 - 最大0.001°までの微細な回転運動 - 極めて長い耐用年数による低メンテナンス このX-Z-Phi多軸位置決めシステムは、高精度で耐久性の高い標準軸（PMT160-300-EDLM、MT130-50-DC、DT170-TM）で構成されており、これらを理想的に組み合わせることで、高精度測定のセットアップが可能です。水平移動の場合、PMT160-300-EDLMはサブマイクロメートルの最小ステップサイズと高速位置決めを可能にします。 仕様 - 標準システムPMT160-DC (X) / MT130-DC (Z) / DT165-TM (Phi (Rz)) - トラベル: 260 mm (X) / 50 mm (Z) / 360 mm (Phi (Rz)) - 繰り返し精度：± 0.3 - ± 0.4 µm (X) / ± 2.5 - ± 4.5 µm (Z) / ± 0.001 - ± 0.005 µm (Phi (Rz)) - 位置決め速度： 200 mm/s (X) / 50 mm/s (Z) / 60 mm/s (Phi (Rz)) - 最大荷重14 N (X) / 95 N (Z) / 100 N (Phi (Rz)) - モーターアイアンレスダイナミックリニアモーター、DCモーター (XZ) / トルクモーター (Phi (Rz)) - フィードバックリニアスケール (XZ) / 角度スケール (Phi (Rz)) カスタマイズオプション - 様々なモーターバリエーション：DCモーター、ステッピングモーター、リニアモーター、ナノモーション - 設定済みコントローラですぐに使用可能（例示ソフトウェアを含む - クリーンルームISO 14644-1対応バージョン