サンプル準備用配置システム

繰返し精度: 0.02 mm - 0.1 mm
積載量: 3 kg - 120 kg
速度: 100 mm/s - 4,000 mm/s

... 直線運動XYZステージガントリーロボット多軸位置決めガイドシステムベルト駆動アクチュエータ ボールねじモジュール、ベルト駆動リニアガイド、位置決めステージ、直交ロボット用モーションコントローラ。CE、FCC、RoHS、ISO9001認証。 多種多様な即出荷可能製品 10個からの数量割引 カスタムOEMソリューション プログラミングサービス OEMまたはカスタム設計が必要な場合は、こちらをご覧ください - https://www.fuyumotion.com/industry-solution FUYU ...

繰返し精度: 1 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 200 mm - 1,000 mm

... 高度にダイナミックなアプリケーションに対応するXYZガントリー カスタマイズ可能 - 高精度かつダイナミックなアプリケーションに最適 - 1300 x 800 mmの非常に広い移動範囲 - 高加速度・高速度と高精度の両立 このガントリーは、1300 x 800 mmの領域で、非常にダイナミックな動きを可能にします。カスタマイズされた加工ヘッドやZ軸のセンサーは、グラナイト上のキャリア上を素早く、スムーズに移動します。プロファイルされたレールガイドは、花崗岩に直接取り付けられており、サブミクロンの再現性の高い結果を得るために最適な走行特性を提供します。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.3 µm - 2.5 µm
積載量: 5 kg - 20 kg
ストローク: 100 mm - 720 mm

... 半導体用XYZデュアルインスペクションポータル カスタマイズ可能 - ウェハー/半導体の自動検査に最適 - 各2 x 720 x 720 x 100 mmの非常に大きな移動範囲 - 2つのプロセスを同時に統合することが可能 クリーンルーム用4軸で構成され、複数の対象物を同時に自動計測できる検査システムです。高いダイナミクスと最高の再現性を実現しています。片側1台の高解像度カメラまたはセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状の検査、測定、特別な品質特性の記録を行います。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.4 µm - 0.8 µm
ストローク: 100 mm - 300 mm
速度: 80 mm/s - 630 mm/s

... XY-2Z 3Dプリンティングガントリ（クリーンルーム） カスタマイズ可能 - 高精度で汎用的な積層造形プロセスの3Dプリンティングに最適 - 300 x 200 x 100 mmの移動量による高いスループット、600 x 600 x 100 mmまで拡張可能 - 2つのZ軸により、2つ目のプリントヘッドや品質管理用センサーなど、2つのプロセスを同時に統合可能 - 3Dプリントにおいて0.4 µmまでの極めて高い繰り返し精度 - 高い耐久性と長いメンテナンス間隔によるクリーンルーム対応 このコンパクトで非常にダイナミックな3軸システムは、デリケートな基板の3Dプリント用に特別に設計されています。Z軸のカスタマイズされたプリントヘッドは、基板上を非常に高速で移動します。最大300mmまでの大きな移動量により、大量生産が可能です。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.4, 0.7 µm
積載量: 28, 10, 0.5 kg
ストローク: 3, 5 mm

... MP700-3 フラット3Dアライナー カスタマイズ可能： - 大型基板、マスク、フレームの高精度アライメントに最適 - 開口部730 x 730 mmの大型サンプルに最適 - 最大0.4 µm/±0.0002°の高繰り返し精度、28 kgまでの荷重に対応 - 990 x 1090 x 225 mmの超フラットデザイン - エアベアリングとダイレクトドライブによる低メンテナンス、低パーティクル このアライナーでは、平面内で±5mmの第2並進運動と±3°の垂直周りの回転が実現されています。R(Phi)の動きはXY軸の組み合わせの結果です。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.2 µm - 0.3 µm
積載量: 500 g
ストローク: 10 mm

... MP53-3 小型XYZ位置決めシステム カスタマイズ可能 - コンパクトなアプリケーションに最適 - サブミクロンレンジの分解能 - 最大5Nの負荷容量 - 高精度位置決めによる信頼性と安定した品質 MP53位置決めシステムは、X、Y、Zモーション用の小型化された3軸システムで、移動範囲は10mmです。ピエゾモータを搭載し、数ナノメートルまでの位置決めが可能です。 仕様 - 標準システムMT53 - トラベル：10 mm (XYZ) - 繰り返し精度：±0.2～±0.3 ...

繰返し精度: 0.8 µm - 3.8 µm
積載量: 1 kg
ストローク: 25 mm - 25 mm

... MP210-3 XYZ位置決めシステム カスタマイズ可能 - 限られた設置スペースと0～40℃の温度変化に最適 - 最小スペースで最大25 mmの移動範囲 - 絶対位置の安定性（モーターオフ時 - 高い繰返し精度による安定した測定結果 このXYZシステムは、安定性の高い両面入射・透過光測定用の試料ホルダーの位置決めを可能にします。ローディングとフォーカシングは、25 mmストロークの垂直移動で実現します。 仕様 - 標準システムMT63 (XYZ) - トラベル：25 ...

繰返し精度: 1.8, 3 µm
ストローク: 150 mm
速度: 75 mm/s

... 自動化における高精度なサンプルローディング この高精度位置決めユニットは、サブミクロンレンジの高精度なサンプルローディングを可能にします。特に、250mmという非常に限られた設置スペースで、150mmまでの移動を行うアプリケーションに適しており、負荷を様々に分散させることができます。駆動コンセプトの最適化と予圧の調整により、狭い設置スペースにもかかわらず、トランスミッションエレメントの伝達誤差を最小に抑えることができます。 駆動部を後方に移設し、スペースを確保 - ...

... ウェハー、生体試料検査用X線位置決め装置（クリーンルームISO 5）｜回転軸とリニアステージ｜検査・顕微鏡｜製品紹介｜イビデン株式会社 高精度な直線回転位置決め このX Phiシステムは、センサーやカメラに対して正確に定義された角度でサンプル（例：ウェハー、生物学的サンプル）を位置決めすることができます。クリーンルームに対応するため、中央の測定システムと移動する回転ユニットのケーブルガイドは、リニアシステムの筐体内部に収納されています。クリーンルームに対応するため、中央の測定システムと移動する回転ユニットのケーブルガイドは、リニアシステムの筐体内に収納されています。 ...

速度: 30 mm/s

... 多彩な測定作業を可能にする高精度検査装置 この3軸位置決めシステムは、ステージがZ軸上のセンサーまたはカメラに測定対象物を移動させる高精度な計測アプリケーションのために設計されています。xyステージは、DCモーター設計の信頼性の高いKT310で構成されています。内部モーター、クロスローラーガイド、高精度ボールネジを採用したコンセプトにより、優れた精度と設置スペースの最適化を実現します。 高精度で安定した測定結果 - 自動試料検査に最適 - 0.3 µmまでの高精度な繰り返し精度 - ...