タンタルスパッタリングターゲット

... 概要
Plansee はモリブデン、タングステン、クロム、チタン、アルミニウムおよびそれらの合金を用いた金属・セラミック製のスパッタリングターゲットおよびアークカソードを製造しています。製品はマイクロエレクトロニクス、ディスプレイ、太陽光発電、工具被覆や装飾用途向けに設計されています。粉末冶金とプロセス管理により、定義された微細構造、高純度、再現性のある堆積特性を実現しています。

主な特徴

• 材料純度：最大 > 99.999

...

... 概要
モリブデン‑タンタル（MoTa）スパッタリングターゲットは、ガラスへの優れた密着性と高い導電性を持つモリブデンに、タンタルによる化学耐性を付与した材料です。TFT‑LCDやタッチパネルの電極層およびその他の機能層向けに設計され、耐腐食性の向上と湿式化学エッチングによる良好な構造化性を提供します。

製造
Planseeは高純度金属粉末の選定、制御された混合、成形、焼結、精密加工などの粉末冶金工程によりMoTaターゲットを製造します。ターゲットは自社のボンディング工場で最終加工され、即設置可能な状態で出荷されます。タンタル含有量は用途に応じて最大約11質量%まで調整可能です。

性能と利点

• 電極および機能層の化学耐性・耐腐食性の向上
• ガラス基板への優れた密着性と高い電気伝導性
• 均質な微細構造と組成により安定したPVD成膜を実現
• 湿式化学エッチングによる良好な構造化性
• PVD中の粒子発生やアーキングを抑えるために最適化された製造プロセス

専門開発センター
PlanseeのPVDアプリケーションラボにおいて、塗膜材料とプロセスパラメータは実務に近い条件で開発・検証されています。顧客や装置メーカーとの協業により、材料の迅速な評価・調整が可能です。

原材料と供給
認証済みの紛争フリーなタンタル粉末から完成品のスパッタリングターゲットまで、バリューチェーン全体をPlanseeが管理しており、トレーサビリティと安定供給を確保しています。品質管理により金属・非金属不純物を低減し、粒子発生を抑制します。

特性 ...

... CXMET は宝鶏谷にある直接工場で、サポートの製造とテストのために一連の機械を設置しました。ハフニウム スパッタリング ターゲット私たちの工場の希少金属の 1 つであり、それらはすべて CXMET からカスタマイズできます。 よくある質問 1.支払い条件は何ですか? T/T AD または取消不能 L/C。 2.納期は？ 在庫品は1~3日以内にお届けできます。 カスタマイズされた商品は、2~4週間以内に発送されます。 3. 生産後のテストはどうですか? 寸法、表面、化学組成、機械的性質、NDT/NDE ...