回転軸エンジン用測定システム

広視野と長作動距離で、高さや段差のあるサンプルの測定に適したエントリーモデルです。 広視野による多彩な測定用途 広視野測定が可能な3つのステージサイズをラインアップ。タッチプローブの装着も可能で、さまざまな検査や品質管理に威力を発揮します。 長作動距離と長Z軸ストローク 全倍率範囲で73.5mmの長作動距離と200mmのZ軸ストロークを実現。大きな段差や高さのある被検物測定に適しています。 測定用途に応じたオプション レーザーAFやタッチプローブなど、測定用途に応じたオプションを組み合わせてお使いいただけます。

明視野とコンフォーカルの2系統の光学系を搭載。二次元測定に加えて、高速・高精度な視野内一括高さ測定を実現します。 二次元測定と高さ測定が可能な1台2役の高機能システム 明視野画像による二次元測定に加えて、コンフォーカル光学系による視野内一括高さ測定を実現。明視野測定では検出が難しいサンプルも、コンフォーカル光学系なら高速/高精度な測定が可能です。 微細配線パターンの測定 明視野では難しい輝度差の激しいサンプルでも、形状と高さを正確に捉えて検出できます。 プローブカードの測定 プローブカードの微細なコンタクト部分のXYZ座標を、視野内一括測定します。 高精度プリント基板パターンの測定 測定視野内の高反射面と低反射面のエッジが正確に検出できます。