Materiais para imagiologia positiva a seco e por imersão, e imagiologia de tom negativo (NTI)
Caraterísticas e vantagens
Vasta gama de sistemas de imagiologia de alta resolução para exposição a 193 nm, incluindo imagiologia positiva a seco e por imersão e imagiologia de tom negativo (NTI)
- Elevado rendimento
- Resolução superior
- Amplas janelas de processo
- Baixos níveis de defeitos
- Perfis verticais
- Série GAR
Os produtos da série GAR são adequados para uma variedade de aplicações que requerem exposição a seco a 193 nm.
- Série FAiRS para PTI (imagem de tom positivo)
Os produtos da série FAiRS são adequados para uma variedade de aplicações que requerem exposição por imersão a 193 nm e imagens de tom positivo.
- Série FAiRS para NTI (imagiologia de tom negativo)
Os produtos da série FAiRS são adequados para uma variedade de aplicações que requerem exposição por imersão a 193 nm e imagiologia de tom negativo.
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