Forno de indução STS-VCS

a vácuo

A série STS é o resultado de décadas de experiência na concepção e fabrico de fornos de baixa partícula. Estes sistemas confiáveis permitem a remoção completa dos solventes residuais, distribuição uniforme de temperatura, controle de pressão, atmosfera seca e inerte, e gestão das taxas de aquecimento e arrefecimento. Detalhes do produto Características: 1. - Processamento a vácuo com excelente controle de pressão 2. - Temperatura de operação: ambiente a 450°C (versão opcional para altas temperaturas: ambiente a 550°Q 3. - Uniformidade de temperatura: ± 5°C durante a permanência 4. - Fluxo de gás laminar paralelo às bolachas 5. - Bombas e ciclos de purga para reduzir O: conteúdo 6. - Software opcional de gestão de processos: Módulo compatível com SEMI E5-0308 e SEMI E30-0307 Configuração padrão: 1. - Processo mais rápido: 3.5 horas vs 8+ horas 2. - O fluxo laminar reduz/elimina as partículas 3. - Menos de 10ppm O: concentração após 3 ciclos de bomba e purga 4. - Cura mais completa (5x menos gases) 5.1,6x a 2x menos potência e N: consumo 6. Custo de capital muito mais baixo, 2-3x menos CoO Aplicações: 1. - Polimida/PBO cura 2. - Cozer BCB 3. - Polimerização a baixa temperatura 4. - Recozimento de cobre 5. - Cura dieléctrica Low-K Sectores 1. - Embalagem Avançada 2. - Sensor de Imagem CMOS 3. - Embalagem de Nível Pan-out Wafer (FOWLP) 4. - Front-end de Semicondutores Anneal e Degas 5. - Dispositivos de RF