Sistema de posicionamento multieixos 782430:002.26

XYZde 4 eixoslinear

Portal de inspecção duplo XYZ para semicondutores Personalizável - Ideal para inspecção automatizada de wafers / semicondutores - Grande raio de deslocação de 2 x 720 x 720 x 100 mm cada - Permite a integração de dois processos em simultâneo Este sistema de inspecção é composto por quatro eixos de sala limpa e permite a medição automatizada de vários objectos em simultâneo. É alcançada uma elevada dinâmica e a mais alta reprodutibilidade. Uma câmara ou sensor de alta resolução por lado é movido em relação à amostra para inspeccionar geometrias, efectuar medições e documentar características especiais de qualidade. Especificações - Curso: 2 x cada 720 x 720 x 100 mm - 2x eixos X cada para scanners / microscópios até 25 kg - 2x eixos Y cada para mandris até 23 kg / wafers até 12" / 300 mm - repetibilidade: 1,5 - ± 0,3 µm - Velocidade: 750 - 1500 mm (XY) / 150 - 300 (Z) - Carga máxima: 150 N (XY) / 200 N (Z) - Accionamento: motor linear (sem ferro), calha de perfil (XY) | fuso de esferas, servo AC (Z) - Feedback: escala linear, codificador do motor - Controlador de movimento: FMC-250/280, ACS, integração PLC - Classe de sala limpa: ISO 2 Opções personalizadas: - Adaptação ao processo, suporte de amostras, cabeça / sensor - Versões para sala limpa ISO 14644-1 (até classe 1 a pedido) - Rack, isolamento de vibrações, invólucro, conceito de segurança - Ligações para coberturas de correia de aspiração e de circulação - Extensão dos graus de liberdade para movimentos XYZ-Rx-Ry-Rz - Procura de soluções individuais com design 3D para a tarefa de posicionamento