Sistema de posicionamento XZ 782300:186.26
de 2 eixoslinearpara inspeção de wafers e metrologia

sistema de posicionamento XZ
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Características

Número de eixos
XZ, de 2 eixos
Construção
linear
Aplicações
para inspeção de wafers e metrologia, para laboratório
Outras características
com fuso de esferas, de precisão, com motor CC, de alta resolução, módulos combinados, com controlador
Repetibilidade

MÁX: 2,2 µm

MÍN: 0,4 µm

Curso

MÁX: 300 mm
(11,81 in)

MÍN: 100 mm
(3,94 in)

Velocidade

MÁX: 25 mm/s

MÍN: 1,12 mm/s

Descrição

XZ System für Labor- und Waferinspektion Personalizável: - Ideal para a configuração e expansão da sua aplicação - Repetibilidade altamente precisa até 0,4 µm - Passos mais pequenos e maior fiabilidade a uma velocidade de posicionamento comparativamente elevada de 50 mm/s - Planicidade perfeita de ± 1 para o posicionamento de cargas médias até 5 kg A combinação XZ é composta pelos eixos lineares padrão de alta precisão e durabilidade do PMT160. Esta combinação é adequada para todas as aplicações que exijam uma planeza perfeita, as mais pequenas tolerâncias para inclinação e guinada e um comportamento de funcionamento suave. Características técnicas: - Componente standard: PMT160-DC (XZ) - Curso: 300 mm (X) / 100 mm (Z) - Repetibilidade: ± 0,4 - ± 2,2 µm (XZ) - Velocidade de posicionamento: 25 mm/s (X) / 1,12 mm/s (Z) - Carga máxima: 45 N (X) / 150 N (Z) - Motor: Motor DC, fuso de esferas - Feedback: Escala linear Opções personalizadas: - Diferentes trajectos por eixo de 50 - 300 mm - Movimentos de rotação em combinação com DT130 ou DT200 - Diversas variantes de motor: Motor DC, motor de passo, motor linear e nanomotor - Utilização imediata com controlador pré-configurado, incluindo software exemplar - Versões para salas limpas ISO 14644-1

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