Sistema de posicionamento XYZ 782498:001.26

linearautomáticopara a indústria dos semicondutores

XYZ Pórtico de inspecção para semicondutores | XY Motor linear, perfil de calha | Z Fuso de esferas, servo CA - Inspecção e Mikroscopy Inspecção 3D automática de semicondutores de alta precisão Este sistema de posicionamento de 3 eixos move uma câmara ou sensor de alta resolução no eixo Z sobre o alvo. Com base no eixo linear LA250 com accionamento directo linear, este sistema atinge altas velocidades e acelerações com alta precisão e muito boa reprodutibilidade. Para o posicionamento vertical, o estágio linear PLT165-AC de alta precisão com um potente servo motor CA é utilizado para accionar o seu fuso de esferas de precisão. Tem uma elevada capacidade de carga útil, mesmo para sensores pesados. Alto rendimento em operação de baixa manutenção 24/7 - Ideal para inspecção automatizada de amostras grandes e planas, por exemplo bolachas, cartões de sonda por meio de ponte de viagem - Curso muito longo de 700 x 700 x 200 mm para cargas até 15 kg - Medição de alta precisão com repetibilidade de até 0,3 µm - A mais alta estabilidade para medições de alta ampliação Opcionalmente expansível: - Várias viagens até 2000 mm - Controlo em Z manual ou motorizado - Com/sem armação e placa de base em granito ou alumínio - Versões ISO 14644-1 (até à classe 1, a pedido) - Opcional com controlador pré-configurado incl. software exemplar para uso imediato