Estufa de oxidação

de câmaracom atmosfera controladapara a indústria eletrônica

Fornos Nossos fornos são totalmente automatizados com ferramentas convenientes e design para ambos os processos com diferentes zonas de aquecimento controláveis completamente de acordo com as capacidades e necessidades dos clientes. Nossos equipamentos são para estes tipos de wafer com os diâmetros de 100, 150, 200, 300 mm. FORNOS ATMOSFÉRICOS Vegatec projeta e fabrica fornos atmosféricos com todo o seu sistema de automação para laboratório e indústria de microeletrônica, nanoeletrônica e fotovoltaica. Estes fornos são os seguintes; Fornos de Oxidação (Oxidação úmida e Oxidação seca) Fornos de Difusão Fornos de Doping Fornos de recozimento Características Gerais dos Fornos Atmosféricos Fácil de usar e fácil de manter graças ao design de fácil utilização Câmara do forno e suporte de amostras tipo cantilever de quartzo de alta pureza Capaz de trabalhar em salas limpas até à classe 10 Longa vida útil graças aos componentes de alta qualidade Zonas de aquecimento controláveis separadamente Fácil utilização da interface de automação Tubos de forno empilháveis para um design compacto de diferentes processos ao mesmo tempo Capacidade de carregamento manual ou automático Capacidade de acordo com cada cliente Em laboratório ou em escala industrial