Placa cerâmica

circularde nitreto de borode isolamento

O nitreto de boro hexagonal prensado a quente é muitas vezes referido como "grafite branca", uma vez que tem uma estrutura de camadas semelhante à da grafite. Possui caraterísticas térmicas excepcionais: elevada condutividade térmica e excelente resistência ao choque térmico. É estável até 2000 °C em atmosferas redutoras e até 900 °C em atmosferas oxidantes. Tem caraterísticas como elevada maquinabilidade, baixa expansão térmica, transparência por micro-ondas e elevada resistência à humidade de metais fundidos, escórias e vidro. As peças cerâmicas de nitreto de boro são amplamente utilizadas como PVD, MOCVD, sistema MBE, componentes de fornos, cadinhos de fusão, isoladores, anilhas, bocais, tubos de micro-ondas, dissipadores de calor e proteção contra a radiação térmica. Um reator MOCVD é uma câmara feita de um material que não reage com os produtos químicos utilizados. Deve também resistir a temperaturas elevadas. Esta câmara é composta por paredes do reator, um revestimento, um susceptor, unidades de injeção de gás e unidades de controlo da temperatura. No reator MOCVD, o substrato é suportado por um pedestal, que também funciona como susceptor. O pedestal/susceptor é a principal origem da energia térmica na câmara de reação. Apenas o susceptor é aquecido, pelo que os gases não reagem antes de atingirem a superfície quente da bolacha. As paredes da câmara de reação num reator de parede fria, no entanto, podem ser indiretamente aquecidas pelo calor que irradia do pedestal/susceptor quente, mas permanecerão mais frias do que o pedestal/susceptor e o substrato que o pedestal/susceptor suporta. Por isso, o nitreto de boro é uma boa escolha porque a densidade de potência, a temperatura de funcionamento, o grau de isolamento e a resistência dieléctrica dos elementos de aquecimento podem ser muito melhorados utilizando o nitreto de boro como isolante.