Sonda de oxigênio

para eletrônicade mediçãode membrana

Informações gerais
A sonda de vácuo ZIROX utiliza uma célula de eletrólito sólido de zircónia (ZrO2) em modo potenciométrico como elemento sensor. Entre o eletrodo de medição e o eletrodo de referência gera‑se uma tensão, proporcional ao logaritmo da razão das pressões parciais de oxigénio, convertível em pressão parcial de oxigénio pela equação de Nernst. A cabeça de ligação integra o controlo do aquecedor, a electrónica de processamento do sinal e uma bomba de membrana interna para fornecimento de gás de referência.

Aplicações
A sonda destina‑se à determinação de pressões parciais de oxigénio em equipamentos de baixa pressão. Usos típicos: processos a vácuo como PVD, sputtering por magnetron e outros processos de plasma ou de tratamento de superfícies, bem como investigações em ciência dos materiais.

Nota sobre calibração
Ao contrário das sondas ZIROX para pressão atmosférica, a sonda para vácuo não é isenta de calibração devido à posição interna do aquecedor e às condições térmicas dependentes da pressão no eletrodo de medição (não é possível garantir eletrodos isotérmicos). Para controlo de processo, a calibração empírica é frequentemente suficiente; para medições precisas o utilizador deve efetuar calibrações de teste.

Dados técnicos — Sonda para vácuo

• Comprimento de inserção: 140...300 mm
• Diâmetro da sonda: 6 mm (16 mm com tubo de proteção)
• Massa: 1,5 kg
• Dimensões da cabeça de ligação: 150 x 63 x 35 mm
• Grau de proteção: IP54
• Flange: KF40 (outras sob pedido)
• Temperatura máx. na flange: 60 °C
• Alimentação: 24 V DC ± 10 %
• Consumo de corrente: 1,2 A
• Potência de aquecimento: 30 W
• Intervalo de pressão: 1,5 x 10^5 ... 1 x 10^-5 Pa
• Intervalo de tensão do sensor: 0...400 mV ou 0...1200 mV (comutável na placa)
• Intervalo de pressão parcial de oxigénio: 1 x 10^5 ... 1 x 10^-21 Pa
• Sinal de saída: 0–20 mA
• Precisão: < 5 % erro relativo (uso em processo)
• Temperatura de trabalho do sensor: 700 °C (controlada electronicamente)
• Offset (com manga de proteção): -15...-20 mV
• Taxa de fuga He: < 10^-8 mbar·L/s
• Velocidade máxima do fluxo de gás: 10 m/s
• Gás de referência: ar ambiente
• Caudal do gás de referência (bomba interna): aprox. 5...10 L/h

Atribuição do conector
Tipo de conector: Tipo 423, 6 polos, Binder (N.º pedido: 99-5622-15-06)

• 1: +24 V
• 2: GND
• 3: + Iout (20 mA corresponde a 400 ou 1200 mV conforme ajuste)
• 4: - Iout
• 5: Contacto Ready (sem potencial) — 60 V/1 A DC ou 125 V/1 A AC
• 6: (sem atribuição)