差圧流量調節器 F4Q series

質量ガス用デジタル

デジタルマスフローコントローラ 形 F4Qは、検出部に弊社独自開発の「微小熱式流速センサ」を搭載した高性能デジタルマスフローコントローラです。ひとめで制御状態が分かる大型LEDと、詳細に制御状態が分かる液晶表示器を搭載。 広い流量域で精度を向上。新たな機能を追加し流量制御の課題を解決します。