表面研削機 IVG series

自動高精度自動搬入・搬出

全自動研削盤は、完全自動ロードおよびアンロードシステムを装備した高精度研削盤であり、ウェーハをピックアップするためにウェーハマニピュレータを使用し、自動センタリング、洗浄、乾燥機能を備えています。カセットからカセットへの自動研削加工を実現し、ウェーハの内外を乾燥状態に保つことができます。 充実した機能 自動厚み測定と補正、多段研磨プログラム、過負荷時の待機機能など、様々なプロセス要求に対応します。 豊富な仕様 1軸または2軸の研削ユニット。 完全自動化システム 全自動ローディング、アンローディング、自動研削システムにより、ウェーハの内外をドライに保つことができます。 良好な互換性 操作テーブルはお客様のニーズによってカスタマイズすることができ、様々な半導体材料の研削と薄化プロセスの要件に対応することができます。