効率性:
優れたコスト効率、アップタイム、エネルギー効率
整備しやすさ:
長い整備間隔
信頼性:
動作信頼性
フレキシブル:
用途重視
静か:
騒音値 ≤ 62 dB(A)
COBRA BC 1000 FおよびBC 2000 Fは、定評のあるCOBRA BCシリーズのドライスクリュー式真空ポンプです。これらのポンプは、高い排気速度と優れた水素排気性能から、要求の厳しいソーラー、フラットパネル、半導体でご利用いただけます。COBRA真空ポンプは、オイルフリーの非接触式で、副生成物耐性に優れています。
COBRA BC 1000 FおよびBC 2000 Fにはブースターポンプを標準搭載しており、高い排気速度と真空到達度を実現しています。フォアポンプとブースターポンプをコンパクトなベースフレームで組み合わせています。
COBRA BC 1000 FおよびBC 2000 Fはアイドリングモード搭載の高効率モーターを採用した、エネルギー消費の低い製品です。
そのコンパクトな構造により省スペースで、エネルギー消費量も極めて小さいため、運用コストを最小限に抑えられます。COBRA BC真空ポンプは耐用年数も長く、総コストをさらに抑えられます。これらのスクリュー真空ポンプは、既存システムへの組み込みも容易です。
用途
高密度プラズマCVD(HDP CVD)
急速熱処理(RTP)
準大気圧CVD(SACVD)
有機金属CVD(MOCVD)
プラズマCVD(PECVD)
低圧CVD(LPCVD)
原子層堆積(ALD)
ロードロック