スクリュー真空ポンプ COBRA BC 2000 F

乾式プラズマコンパクト

効率性： 優れたコスト効率、アップタイム、エネルギー効率 整備しやすさ： 長い整備間隔 信頼性： 動作信頼性 フレキシブル： 用途重視 静か： 騒音値 ≤ 62 dB(A) COBRA BC 1000 FおよびBC 2000 Fは、定評のあるCOBRA BCシリーズのドライスクリュー式真空ポンプです。これらのポンプは、高い排気速度と優れた水素排気性能から、要求の厳しいソーラー、フラットパネル、半導体でご利用いただけます。COBRA真空ポンプは、オイルフリーの非接触式で、副生成物耐性に優れています。 COBRA BC 1000 FおよびBC 2000 Fにはブースターポンプを標準搭載しており、高い排気速度と真空到達度を実現しています。フォアポンプとブースターポンプをコンパクトなベースフレームで組み合わせています。 COBRA BC 1000 FおよびBC 2000 Fはアイドリングモード搭載の高効率モーターを採用した、エネルギー消費の低い製品です。 そのコンパクトな構造により省スペースで、エネルギー消費量も極めて小さいため、運用コストを最小限に抑えられます。COBRA BC真空ポンプは耐用年数も長く、総コストをさらに抑えられます。これらのスクリュー真空ポンプは、既存システムへの組み込みも容易です。 用途 高密度プラズマCVD（HDP CVD） 急速熱処理（RTP） 準大気圧CVD（SACVD） 有機金属CVD（MOCVD） プラズマCVD（PECVD） 低圧CVD（LPCVD） 原子層堆積（ALD） ロードロック 技術仕様 技術仕様 COBRA BC 1000 FおよびBC 2000 F は、1段階のツインシャフトスクリュー 真空ポンプです。2本のスクリューロー ターがシリンダー内で回転し、吸引し たガスを捕捉して圧縮し、排気口に移 送します。圧縮プロセス中にスクリュ ーローターが互いに接触したり、シリ ンダーと接触したりすることがないた め、圧縮チャンバー内に潤滑油や水は 不要です。 最先端のスクリュー設計により電力消 費量を大幅に削減し、また圧縮中にガ スが高温になるのを防ぎます。最新の スクリュー技術は、水素吸引における 排気速度の向上も可能にしています。 スクリュー真空ポンプとメカニカルブ ースターを組み合わせ、コンパクトな ユニット構成となっています。 効率的な間接水冷方式により、真空ポ ンプ内の温度分布が均一となるため、 プロセス全体を通じて熱的安定性が 保たれます。 COBRA BCスクリュー真空ポンプは、腐 食性ガスおよびベーパーの処理用に 特殊コーティングされたバージョンも ご用意しております。