スクリュー真空ポンプ COBRA BC 0200 F

乾式コンパクト

効率性： 優れたコスト効率、アップタイム、 エネルギー効率 整備しやすさ： 長い整備間隔 信頼性： 動作信頼性 フレキシブル: 用途重視 静か: 騒音値 ≤ 58 dB(A) COBRA BC 0100 Fは、コンパクトな最 先端のロードロックソリューションとし て定評のあるCOBRA BCシリーズに、 極めて要件の厳しいソーラー、フラッ トパネルそして半導体用途でのプロ セス処理能力をプラスしたドライスク リュー真空ポンプです。この真空ポン プは、独自のスクリューポンプ設計に より、優れた粉体処理機能を有します。 高効率モーターと最先端のアイドリン グモード機能を搭載したCOBRA BC 0100 Fは、省エネ効果にも優れてい ます。 最適化された省スペース設計と省エ ネ機能により、このCOBRAシリーズ真 空ポンプでは、総所有コストを低く抑 えることができます。 用途 高密度プラズマCVD（HDP CVD） 急速熱処理（RTP） 準大気圧CVD（SACVD） 有機金属CVD（MOCVD） プラズマCVD（PECVD） 低圧CVD（LPCVD） 原子層堆積（ALD） ロードロック 技術仕様 技術仕様 OBRA BC 0100 Fは、逆方向に回転す る2本のスクリューローターによって動 作します。吸引したガスをシリンダーと スクリューチャンバーとの間で捕捉し、 圧縮しながら排気口へ送ります。スク リューのメカニズムではポンプ内の摺 動面積が極小化されるため、粉体処理 および再起動の能力に優れます。 高度なスクリュー設計により、標準的 なスクリュー設計と比べて消費電力が 低くなっています。また、圧縮ガスの熱 負荷も低減されます。BCシリーズのポ ンプは、直接冷却方式を採用している ため、ポンプ本体全体の温度が均一に 保たれ、コールドスポットが無く、熱的 に安定したウォータージャケット構造 を備えます。 独自の「フライングベアリング」スクリ ュー設計により、インレットベアリング の問題を排除し、設置面積を縮小しま した。 COBRA BCスクリュー真空ポンプは、腐 食性ガスおよびベーパーの処理用に 特殊コーティングされたバージョンも ご用意しております。