スクリュー真空ポンプ COBRA BC 0200 F Premium

乾式コンパクト

高度なスクリュー設計： ベル型構造、特許取得済みのセルフバランシングスクリュー 効率： クラス最高のエネルギーフットプリント、低い所有コスト、最小限のメンテナンス、高い稼働時間 信頼性： 操作上の信頼 性柔軟性： アプリケーション指向の 静かな： 騒音レベル < 58 dB（A） コンパクトデザイン COBRA BC 0100/0200 F プレミアム効率は、実績のあるCOBRA BCシリーズのドライスクリュー真空ポンプです。 特別に開発されたスクリュープロファイルを搭載した最先端のスクリュー真空ポンプ技術は、効率の新たな基準を打ち立てます。これらの真空ポンプは、ロードロックおよびトランスファーチャンバでの作業や、計測、リソグラフィー、物理蒸着（PVD）などのプロセスにおける理想的なソリューションとなります。急速熱アニーリング（RTA）。 最新のブッシュVacBoostテクノロジーを搭載したCOBRA BC Premium Efficiencyシリーズは、標準的な真空発生器と比較して 40% 低いエネルギー消費により、今日の最大の省エネと環境持続可能性に対する需要を満たしています。 インテリジェントなスタンバイモードと、幅広い柔軟なアイドルモードを備え、さらなる省エネの可能性を提供します。 高い信頼性と最小限のメンテナンスにより、TCO（総所有コスト）がさらに削減されます。 洗練されたベル形状のカンチレバー構造により、可変ピッチネジを備えたツインローターはモーター側のみに取り付けられ、ユニークな「フライングベアリング」設計により、入口ベアリングが不要になります。 その結果、ポンプ送られた媒体はベアリングと接触しない。 これにより、クリーンな真空生成が保証され、ポンプされたガスの完全な回収が可能になります。 入口と出口の間の直接ガス経路は、デッドスペースを防止し、圧縮チャンバ内にプロセス堆積物がないことを保証します。