真空用途向けアブソリュートリニアエンコーダ
高速移動が求められる直線軸向け
測定ステップが極めて小さい(1 nm未満)モデルもご用意
インターフェース:EnDat、ファナック、三菱、パナソニック、安川
アウトガスを低減する真空対応PCB、接着剤、コーティング
排気孔付きキャビティによる迅速な排気
高温ベーキングに対応する温度安定性
高いプロセス信頼性を実現する非強磁性材料
高い清浄度を確保するためのパッケージング前のベーキング処理
高真空用途向け
真空技術は、エレクトロニクス製造、薄膜技術、材料研究、バイオテクノロジー、医療技術、ハイテク実験装置など、多くの最先端の研究・生産プロセスにおいて重要な役割を果たしています。
高い移動速度
卓越した精度と高い移動速度は、LICリニアエンコーダの特長です。測定分解能わずか1 nmで、最大600 m/minの速度を実現します。汚染に対する高い耐性を備えたこれらのエンコーダは、極めて信頼性の高い位置フィードバックを提供します。
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