厚さ測定システム 光学ウェハー用産業用
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特徴
- 物質的特性
- 厚さ
- 技術
- 光学
- 測定製品
- ウェハー用
- 応用
- 産業用, 電子機器用
- その他の特徴
- 高精度, 高速, 2軸
詳細
半導体産業チェーンの上流に位置する原料生産企業に対し、独自に開発した分光共焦点測定装置を用いて、半導体原料やエピタキシャルウエハーのサイズや平坦度を検出する。
製品の長所です。
広い応用範囲
各種材料、研磨条件の4～8インチのオリジナルウエハ、基板、エピタキシャルウエハに使用します。
高い測定精度
厚み範囲0～1mm 測定精度：±1μM 繰返し精度：0.2μm
短い測定時間
測定時間30s / PCS（お客様の検出軌跡に準ずる。）
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