UVレーザー刻印機 LSU5EBウェーハ自動
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特徴
- 技術
- UVレーザー
- 用途
- ウェーハ
- その他の特徴
- 自動
- 出力
5 W
(0.01 hp)- X軸移動距離
150 mm
(6 in)- Y軸移動距離
150 mm
(6 in)
詳細
半導体業界向けに、ウェーハマニピュレーターと外部同軸ビジョン位置決め技術を採用し、2～6インチウェーハの全自動レーザーマーキングを実現しました。
- 高い自動化
ウェーハ自動ピッキング、自動フォーカシング用特殊ロボット
- 強い互換性
異なる光源で、異なる精度レベルに適応することができる
- 高い耐障害性
インテリジェントな視覚的位置決め＋自動エッジ検出、高い耐障害性
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