レーザー切断機 LUD seriesウェーハ加工産業用自動荷積み式
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特徴
- 切断方法
- レーザー
- 切断製品
- ウェーハ
- 用途
- 加工産業用
- 材料の搬入
- 自動荷積み式
- 相
- 単相
- その他の特徴
- 自動, 高精度, 高速, 高効率
- X軸移動距離
200 mm
(7.87 in)- Y軸移動距離
300 mm
(11.81 in)- 繰り返し切断精度
2 mm, 5 mm
(0.0787 in, 0.1969 in)- 全長
1,150 mm
(45 in)- 全幅
800 mm
(31 in)- 高さ
1,700 mm
(67 in)- 重量
1,000 kg
(2,204.62 lb)
詳細
ナノ秒レーザーは、GPPウェーハの精密なダイシングに使用される。
製品の利点
- 高い加工品質
切断線幅が狭く（紫外線ダイシングを例にとると、HAZを含めて≦30±5μm）、エッジの倒れが小さい≦10μm
- 高い加工効率
UPH ≥ 15 (40mil、5インチGPPウェーハを例に、自動ロード・アンロードを含む)
- 良好な加工安定性
ナノ秒レーザーは出力安定性が高く、ビーム品質が良い（M ² < 1.5）
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