広範囲にわたる特殊および独自のエッチング液ブレンド
富士フイルムは、幅広い希釈フッ化水素(HF)比率、界面活性剤あり/なしのBuffered Oxide Etchants(BOE)、Mixed Acid Etchants(MAE)、特殊金属エッチング液を提供しています。
製品ラインアップ
Buffered Oxide Etchants(BOE)
富士フイルムは、狭いアッセイ仕様範囲でBuffered Etchantを正確にブレンドするための高度な機能を備えており、複数の NH4F:HF 比で利用可能です。
SiO2膜のエッチングに利用
事前拡散および事前金属化表面処理として利用
高純度49%フッ化水素酸と高純度40%フッ化アンモニウムを配合
界面活性剤の有無にかかわらず利用可能
希釈フッ化水素
狭いアッセイ仕様範囲で希釈フッ化水素を正確にブレンドする高度な機能を備えています。
Freckle Etch
Al-Si-銅層のエッチング後に残った残留Siノジュールの除去用
特殊金属エッチング液
特定の金属層を選択的に除去するために、富士フイルムは次のようなさまざまな特殊エッチング液を提供しています。
特殊Alエッチング液: Alメタライゼーション層用の浸漬エッチング液 -富士フイルムのAlエッチング界面活性剤(AES)カスタムエンジニアリングの有無にかかわらず利用可能