温度調節器
フロントローディングが容易で、前駆体の温度を精密に制御
TC2000™ は、処理中の前駆体温度を正確に制御し、安定した蒸気圧を保証します。
製品ラインアップ
TC2000™ - 温度調節器
特長
3つの温度範囲
冷却/加熱 15˚C~40˚C
加熱 35˚C~70˚C
超高温加熱 55˚C~90˚C
3つのハードウェア構成
スタンドアロン
リモートエレクトロニクス
ラック搭載型
フロントローディング
自動再充填用に事前装備
ほとんどの業界標準のアンプルに適合
1.5リットル容器サイズに対応
柔軟なデザイン