概要フロントローディングにより前駆体の温度を精密に制御します。TC2000™ ファミリーは、処理中の前駆体温度を正確に維持し、安定した蒸気圧と再現性のある結果を保証します。
製品ラインアップ- TC2000™ - 温度調節器
- 3つの温度範囲
- 冷却/加熱 15°C〜40°C
- 加熱 35°C〜70°C
- 超高温加熱 55°C〜90°C
ハードウェア構成- スタンドアロン
- リモートエレクトロニクス
- ラック搭載型
特長- フロントローディングによる容易なアクセスと保守
- 自動再充填用に事前装備
- ほとんどの業界標準アンプルに対応
- 1.5 L のクォーツ容器に対応
- プロセスラインへの統合が容易な柔軟な設計
特性 / 仕様- モデルファミリー: TC2000™
- 用途: 処理中に前駆体温度を精密に制御し、安定した蒸気圧を維持するための装置
- 温度範囲: 冷却/加熱 15°C〜40°C、加熱 35°C〜70°C、超高温加熱 55°C〜90°C
- ハードウェア構成: スタンドアロン、リモートエレクトロニクス、ラック搭載型
- ローディング: フロントローディング
- 再充填: 自動再充填用に事前装備
- アンプル適合性: ほとんどの業界標準アンプルに対応
- 容器サポート: 最大 1.5 L のクォーツ容器に対応